[發(fā)明專利]蒸汽分配裝置及其用于太陽能板的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310456330.7
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN104300038A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設計）人: 陳世偉
• 申請（專利權(quán)）人: 臺積太陽能股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C14/24
• 代理公司: 北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11409
• 代理人: 章社杲;孫征

1.一種裝置，包括：

歧管，連接至蒸汽源，所述歧管具有多個噴嘴；

內(nèi)圓筒；以及

外圓筒，容納所述內(nèi)圓筒并且在所述內(nèi)圓筒與所述外圓筒之間限定空間，所述內(nèi)圓筒和所述外圓筒中的一個相對于所述內(nèi)圓筒和所述外圓筒中的另一個是可旋轉(zhuǎn)的，所述外圓筒具有連接至所述歧管的入口以接收來自所述噴嘴的蒸汽，所述外圓筒具有用于分配所述蒸汽的出口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述出口是細長形的槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述出口是可調(diào)節(jié)的矩形窗口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，還包括連接以旋轉(zhuǎn)所述內(nèi)圓筒或所述外圓筒的電動機。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，還包括用于加熱所述內(nèi)圓筒和/或所述外圓筒的加熱器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，還包括用于保持所述外圓筒的溫度高于所述內(nèi)圓筒的溫度的加熱控制器。

7.一種裝置，包括：

歧管，連接至蒸汽源，所述歧管具有多個噴嘴；

圓柱形重分配容器，具有連接至所述歧管以接收來自所述噴嘴的蒸汽的入口和分配蒸汽的出口；以及

用于支撐太陽能板基板并且移動所述太陽能板基板經(jīng)過所述出口的裝置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其中，所述重分配容器包括：

可旋轉(zhuǎn)的內(nèi)圓筒；

靜止的外圓筒，容納所述內(nèi)圓筒并且在所述內(nèi)圓筒與所述外圓筒之間限定空間，所述外圓筒包括所述入口和可調(diào)節(jié)的構(gòu)成所述出口的矩形窗口；以及

電動機，連接以旋轉(zhuǎn)所述內(nèi)圓筒。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，還包括：

至少一個加熱器，用于加熱所述內(nèi)圓筒和/或所述外圓筒；以及

加熱控制器，用于保持所述外圓筒的溫度高于所述內(nèi)圓筒的溫度。

10.一種方法，包括：

將來自歧管的多個噴嘴的蒸汽注入重分配容器的入口，所述重分配容器具有出口；

在所述重分配容器內(nèi)混合所述蒸汽，使得所述出口處的蒸汽密度比所述入口處的蒸汽密度更加均勻；以及

將來自所述重分配容器的所述出口的蒸汽分配到太陽能板基板上。