[發明專利]具有類鉆碳膜的結構、指紋辨識器及其制造方法

有效

• 申請號: 201310456067.1
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN104513969B
• 公開（公告）日: 2017-06-06
• 發明（設計）人: 楊一新;陳鼎國
• 申請（專利權）人: 群創光電股份有限公司
• 主分類號: C23C16/04
• 分類號: C23C16/04;C23C16/26;G06K9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 姚亮

1.一種指紋辨識器，包括：

一基板；

一指紋感測電路，設置在所述基板上；

一絕緣材，設置在所述指紋感測電路上；

一導電層，設置在所述絕緣材上；以及

一類鉆碳膜，設置于所述導電層上，且所述類鉆碳膜的面積小于所述導電層的面積。

2.如權利要求1所述的指紋辨識器，其中，所述導電層具有一圍繞所述類鉆碳膜的殘余區域，其中，所述殘余區域的表面與所述類鉆碳膜的表面之間具有一段差，且所述段差自所述類鉆碳膜的表面向所述殘余區域的表面傾斜延伸并且傾斜的角度漸緩。

3.如權利要求1所述的指紋辨識器，其中，所述導電層的面積實質上等于所述絕緣材的面積。

4.一種具有類鉆碳膜的結構的制造方法，包括下列步驟：

提供一絕緣材；

形成一導電層于所述絕緣材上；

將一遮罩固定在所述導電層上，使所述遮罩與所述導電層電接觸，而所述遮罩具有至少一開口；

施加一偏壓至所述遮罩，并沉積一類鉆碳膜在所述導電層相對應所述開口的表面上；以及

移除所述遮罩。

5.如權利要求4所述的制造方法，其中，所述開口是以陣列方式排列，且所述開口的形狀為方形、圓形或其他幾何圖形。

6.如權利要求4所述的制造方法，其中，所述提供一絕緣材的步驟還包括：

提供一基板，且所述基板上具有一指紋感測電路；

將所述絕緣材覆蓋在所述指紋感測電路上。

7.如權利要求4所述的制造方法，還包括：

固定一磁性片材于所述絕緣材相對于所述導電層的表面上；

通過一磁場將所述遮罩吸附于所述導電層上，

其中，所述遮罩具有磁性。