[發(fā)明專利]一種雙扭擺式微機(jī)電磁場傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310455985.2
• 申請(qǐng)日: 2013-09-30
• 公開（公告）號(hào): CN103472410A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳潔;梁秋實(shí);周志浩;薛銘豪;景晟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號(hào): G01R33/02
• 分類號(hào): G01R33/02
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.一種雙扭擺式微機(jī)電磁場傳感器，其特征在于，該磁場傳感器包括從下向上依次疊加設(shè)置的襯底（12）、底電極層（13）、犧牲層（14）、金屬層（15）和氮化硅層(16)，犧牲層（14）、金屬層（15）和氮化硅層(16)均為中空結(jié)構(gòu)，

氮化硅層(16)的頂面設(shè)有錨區(qū)（17），錨區(qū)（17）一邊設(shè)有第二焊盤（62）、第四焊盤（82）和兩個(gè)第五焊盤（92），錨區(qū)（17）另一邊設(shè)有第一焊盤（52）、第三焊盤（72）、第十焊盤（112）和兩個(gè)第六焊盤（102）；氮化硅層(16)的中部設(shè)有第一扭擺梁（1），第一扭擺梁（1）通過兩個(gè)第一支撐梁（2）與錨區(qū)（17）固定連接，第一扭擺梁（1）和第一支撐梁（2）處于懸空狀態(tài)；第一扭擺梁（1）的內(nèi)側(cè)設(shè)有第二扭擺梁（3），第二扭擺梁（3）通過兩個(gè)第二支撐梁（4）與第一扭擺梁（1）的內(nèi)壁固定連接，第二扭擺梁（3）和第二支撐梁（4）處于懸空狀態(tài)；第一扭擺梁（1）邊緣和第二扭擺梁（2）邊緣布設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)金屬線（9）和第二驅(qū)動(dòng)金屬線（10）；第一扭擺梁（1）的底面設(shè)有第一電容（5）和第二電容（6），第一扭擺梁（1）的頂面設(shè)有第一電容引線（51）和第二電容引線（61）；第二扭擺梁（3）的底面設(shè)有第三電容（7）和第四電容（8），第二扭擺梁（3）的頂面和第一扭擺梁（1）的頂面設(shè)有第三電容引線（71）和第四電容引線（81）；第一扭擺梁（1）中設(shè)有含金屬柱的第一通孔（53）和含金屬柱的第二通孔（63），第一電容（5）通過第一通孔（53）與第一電容引線（51）的一端連接，第一電容引線（51）的另一端與第一焊盤（52）連接；第二電容（6）通過第二通孔（63）與第二電容引線（61）的一端連接，第二電容引線（61）的另一端與第二焊盤（62）連接；第二扭擺梁（3）中設(shè)有含金屬柱的第三通孔（73）和含金屬柱的第四通孔（83），第三電容（7）通過第三通孔（73）與第三電容引線（71）的一端連接，第三電容引線（71）另一端與第三焊盤（72）連接；第四電容（8）通過第四通孔（83）與第四電容引線（81）一端連接，第四電容引線（81）另一端與第四焊盤（82）連接；第一驅(qū)動(dòng)金屬線（9）的兩端分別與一個(gè)第五焊盤（92）連接，

第一扭擺梁（1）上設(shè)有含金屬柱的第五通孔（93）和含金屬柱的第六通孔（94），第一驅(qū)動(dòng)金屬線（9）的第一中間端（20）通過第五通孔（93）的金屬柱與第一連接線（22）的一端連接，第一驅(qū)動(dòng)金屬線（9）的第二中間端（21）通過第六通孔（94）的金屬柱與第一連接線（22）另一端連接；第二驅(qū)動(dòng)金屬線（10）的兩端分別與一個(gè)第六焊盤（102）連接，第一扭擺梁（1）上設(shè)有含金屬柱的第七通孔（103）和含金屬柱的第八通孔（104），第二驅(qū)動(dòng)金屬線（10）的第三中間端（18）通過第七通孔（103）的金屬柱與第二連接線（23）的一端連接，第二驅(qū)動(dòng)金屬線（10）的第四中間端（19）通過第八通孔（104）的金屬柱與第二連接線（23）的另一端連接；犧牲層（14）中設(shè)有含有金屬柱的第九通孔（114），氮化硅層(16)中設(shè)有含金屬柱的第十通孔（113），底電極層（13）通過第九通孔（114）、金屬層（15）和第十通孔（113）與第七焊盤（112）連接。

2.按照權(quán)利要求1所述的雙扭擺式微機(jī)電磁場傳感器，其特征在于，所述的第一電容（5）和第二電容（6）位于第一扭擺梁（1）相對(duì)的兩條邊上，第一電容（5）和第二電容（6）均不與第一支撐梁（2）連接在第一扭擺梁（1）的同一邊上。

3.按照權(quán)利要求2所述的雙扭擺式微機(jī)電磁場傳感器，其特征在于，所述的第一電容（5）和第二電容（6）位于第一扭擺梁（1）的底面邊緣中心，第一電容（5）和第二電容（6）處于同一條直線上，且對(duì)稱分布。

4.按照權(quán)利要求1所述的雙扭擺式微機(jī)電磁場傳感器，其特征在于，所述的第三電容（7）和第四電容（8）位于第二扭擺梁（3）相對(duì)的兩條邊上，第三電容（7）和第四電容（8）均不與第二支撐梁（4）連接在第二扭擺梁（3）的同一邊上。

5.按照權(quán)利要求4所述的雙扭擺式微機(jī)電磁場傳感器，其特征在于，所述的第三電容（7）和第四電容（8）位于第二扭擺梁（3）的底面邊緣中心，第三電容（7）和第四電容（8）處于同一條直線上，且對(duì)稱分布。