[發明專利]一種Pt電阻溫度傳感器的制造方法無效
| 申請號： | 201310451756.3 | 申請日： | 2013-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN103487160A | 公開（公告）日： | 2014-01-01 |
| 發明（設計）人： | 李建華;徐立新;盧沖贏 | 申請（專利權）人： | 北京理工大學 |
| 主分類號： | G01K7/18 | 分類號： | G01K7/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100081 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pt 電阻 溫度傳感器 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種Pt電阻溫度傳感器的制造方法，其特征在于包括以下步驟：
第一步，在陶瓷襯底上涂覆SU-8光刻膠，光刻出微結構圖形；
第二步，將光刻完成的陶瓷基片放入磁控濺射設備，濺射Pt金屬；
第三步，將上述得到陶瓷基片放到O2氣氛的爐子中燒蝕或者放入鹽浴中去除SU-8膠，最后得到沉積在陶瓷襯底上的Pt金屬微結構圖形。
2.根據權利要求1所述的Pt電阻溫度傳感器的制造方法，其特征在于SU-8負性光刻膠作為剝離工藝用光刻膠。
3.根據權利要求1所述的Pt電阻溫度傳感器的制造方法，其特征在于光刻膠的厚度要大于5μm。
4.根據權利要求1所述的Pt電阻溫度傳感器的制造方法，其特征在于用磁控濺射設備在SU-8膠上濺射Pt金屬。
5.根據權利要求1所述的Pt電阻溫度傳感器的制造方法，其特征在于Pt金屬的厚度要在2μm左右。
6.根據權利要求1所述的Pt電阻溫度傳感器的制造方法，其特征在于SU-8光刻膠用燒蝕或者鹽浴的辦法去除。
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