[發明專利]一種曝光機及其控制方法

有效

• 申請號: 201310449719.9
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN103472691A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 朱璨;顧葆華;王永剛;李廣圣;張勇
• 申請（專利權）人: 南京中電熊貓液晶顯示科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種曝光機，其特征在于：包括控制器，半橢圓球體型反射罩、UV燈、可調基座、電機、平面反射鏡和照度感應器，其中，所述UV燈設置在所述半橢圓球體型反射罩中，所述UV燈的底部設有由所述電機控制的可調基座，所述平面反射鏡設置在半橢圓球體型反射罩內的焦點處；所述照度感應器設置在半橢圓球體型反射罩的外部，用于檢測經過平面反射鏡反射出半橢圓球體型反射罩的光的照度，并將檢測的結果傳輸到控制器中；所述控制器與電機連接，用于控制電機的轉動。

2.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于：所述電機為精密電機，所述精密電機的精度為1um。

3.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于：所述控制器中包括依次連接的PC機和PLC。

4.根據權利要求1所述的曝光機，其特征在于：所述平面反射鏡設置的角度為45°。

5.一種基于權利要求1所述的曝光機的控制方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）在控制器中設定UV燈的初始高度、固定照度、校準模式和實時調節模式；

（2）控制器控制電機將UV燈置于初始高度，并調整UV燈的功率使照度感應器測量的照度與固定的照度相等并保持，然后控制器進入校準模式；所述校準模式為控制器控制UV燈的功率保持不變，同時控制電機移動UV燈的高度，并用照度感應器測量UV燈在每個高度上的照度，記錄下照度感應器測到最大照度時UV燈的最佳高度D_max然后退出校準模式；

（3）控制器退出校準模式后，將UV燈恢復至初始高度，同時控制器進入實時調節模式；所述實時調節模式為，照度感應器感應從半橢圓球體型反射罩射出的光的照度，將照度感應值傳輸到控制器中，控制器將照度感應器的照度感應值與固定照度進行比較，當照度感應值低于固定照度時，先保持UV燈的功率不變，控制器控制電機調整UV燈的高度直到照度感應器檢測到的照度感應值與固定照度相等后停止并將UV燈保持在當前高度；如果UV燈的高度達到最佳高度D_max，照度感應器檢測的照度感應值沒有達到固定照度，控制器控制電機將UV燈恢復到初始高度后，調節UV燈的功率使得照度感應器的照度感應值與固定照度相同，同時將UV燈的功率保持在當前功率并退出實時調節模式重新進入校準模式。