[發明專利]MEMS元件以及振蕩器

無效

• 申請號: 201310426060.5
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN103716004A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 木原龍兒
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/24
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種MEMS元件，其包含：

基板；

第1電極，其形成在所述基板的上方；以及

第2電極，其具有支承部和梁部，該支承部形成在所述基板的上方，該梁部從所述支承部延伸，以與所述第1電極之間具有空隙的狀態形成，能夠在所述基板的厚度方向上進行振動，

所述梁部的寬度隨著從所述梁部的根部朝所述梁部的前端而變小，

所述梁部的中心的長度大于所述梁部的端部的長度，

所述梁部的根部的寬度大于所述梁部的中心的長度。

2.根據權利要求1所述的MEMS元件，其中，

所述梁部具備：

第1部分，其在俯視時是矩形的形狀，具有所述梁部的中心的長度；

第2部分，其與所述第1部分鄰接，具有所述梁部的端部的長度，

所述第2部分的長度隨著遠離所述第1部分而變小。

3.根據權利要求2所述的MEMS元件，其中，

所述第2部分在俯視時是梯形的形狀。

4.根據權利要求1所述的MEMS元件，其中，

所述梁部在俯視時是圓弧或橢圓弧的形狀。

5.一種振蕩器，其包含：

權利要求1至4中的任意一項所述的MEMS元件；以及

電路部，其與所述MEMS元件的所述第1電極以及所述第2電極電連接。