[發(fā)明專利]一種振鏡電機(jī)線性度的檢測(cè)方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310422764.5
• 申請(qǐng)日: 2013-09-16
• 公開（公告）號(hào): CN104459534B
• 公開（公告）日: 2017-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 舒遠(yuǎn);王光能;閆靜;米野;高云峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司;深圳市大族電機(jī)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/34
• 分類號(hào): G01R31/34
• 代理公司: 深圳中一專利商標(biāo)事務(wù)所44237
• 代理人: 張全文

1.一種振鏡電機(jī)線性度的檢測(cè)方法，其特征在于，所述方法包括下述步驟：

通過激光點(diǎn)光源發(fā)射激光，并將所述激光點(diǎn)光源發(fā)射的激光照射在振鏡電機(jī)的振鏡片上；

通過多個(gè)反射鏡構(gòu)成反射鏡陣列，使所述振鏡片反射的激光沿著預(yù)設(shè)的光路傳播；其中，所述多個(gè)反射鏡設(shè)置在兩條平行線上；

通過激光光斑采集裝置的白平衡板接收經(jīng)過所述振鏡片反射的激光；

激光光斑采集裝置采集在所述白平衡板上接收到的激光所形成的光斑圖像；

向振鏡電機(jī)發(fā)送相同的指令使振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)，根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的光斑計(jì)算每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度，得出振鏡電機(jī)的線性度，包括：

向振鏡電機(jī)發(fā)送相同長(zhǎng)度間隔的指令使振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)；

根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的光斑圖像計(jì)算每次旋轉(zhuǎn)振鏡電機(jī)之后激光光斑的移動(dòng)距離，根據(jù)每次激光光斑的移動(dòng)距離計(jì)算每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度；

根據(jù)每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度得出振鏡電機(jī)的線性度；

其中，每次激光光斑的移動(dòng)距離為△d＝(N+1)H[tan(α+2θ)-tan(α)]，每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度為θ＝(arctan((△d/(N+1)H)+tan(α))-α)/2；

其中，△d為每次激光光斑的移動(dòng)距離，N為反射鏡的個(gè)數(shù)，H為兩條平行線之間的距離，θ為每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度，α為激光與振鏡片在零位時(shí)所成的入射角。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的光斑計(jì)算出每一次旋轉(zhuǎn)振鏡電機(jī)時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度具體步驟包括：

根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的光斑取光斑的中心點(diǎn)；

根據(jù)光斑的中心點(diǎn)計(jì)算出每一次旋轉(zhuǎn)振鏡電機(jī)時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度。

3.一種振鏡電機(jī)線性度的檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置包括：

激光點(diǎn)光源，用于發(fā)射激光，并將所述激光點(diǎn)光源發(fā)射的激光照射在振鏡電機(jī)的振鏡片上；

多個(gè)反射鏡，用于通過多個(gè)反射鏡構(gòu)成反射鏡陣列，使所述振鏡片反射的激光沿著預(yù)設(shè)的光路傳播；其中，所述多個(gè)反射鏡設(shè)置在兩條平行線上；

白平衡板，用于接收經(jīng)過所述振鏡片反射的激光并呈現(xiàn)出激光光斑；

圖像采集系統(tǒng)，用于對(duì)所述白平衡板呈現(xiàn)的激光光斑進(jìn)行圖像采集；

線性度計(jì)算裝置，用于向振鏡電機(jī)發(fā)送相同的指令使振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)，根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的激光光斑計(jì)算每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度，得出振鏡電機(jī)的線性度；

所述線性度計(jì)算裝置包括：

指令發(fā)送單元，用于向振鏡電機(jī)發(fā)送相同長(zhǎng)度間隔的指令使振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)；

旋轉(zhuǎn)角計(jì)算單元，用于根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的光斑圖像計(jì)算每次旋轉(zhuǎn)振鏡電機(jī)之后激光光斑的移動(dòng)距離，根據(jù)每次激光光斑的移動(dòng)距離計(jì)算每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度；

線性度計(jì)算單元，用于根據(jù)每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度得出振鏡電機(jī)的線性度；

其中，每次激光光斑的移動(dòng)距離為△d＝(N+1)H[tan(α+2θ)-tan(α)]，每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度為θ＝(arctan((△d/(N+1)H)+tan(α))-α)/2；

其中，△d為每次激光光斑的移動(dòng)距離，N為反射鏡的個(gè)數(shù)，H為兩條平行線之間的距離，θ為每次振鏡電機(jī)旋轉(zhuǎn)的角度，α為激光與振鏡片在零位時(shí)所成的入射角。

4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)角計(jì)算單元具體包括：

中心點(diǎn)確定單元，用于根據(jù)激光光斑采集裝置采集到的光斑取光斑的中心點(diǎn)；

計(jì)算單元，用于根據(jù)光斑的中心點(diǎn)計(jì)算出每一次旋轉(zhuǎn)振鏡電機(jī)時(shí)的旋轉(zhuǎn)角度。