[發(fā)明專利]基于三個或更多個狀態(tài)的功率和頻率的調(diào)節(jié)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310422704.3
• 申請日: 2013-09-16
• 公開（公告）號: CN103681195B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 約翰·C·小瓦爾考;布拉德福德·J·林達(dá)克
• 申請（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H05H1/46
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所31263
• 代理人: 李獻(xiàn)忠

1.一種等離子體處理系統(tǒng)，其包括

主產(chǎn)生器，其包括三個主功率控制器，所述主功率控制器中的每個配置有預(yù)定義的功率設(shè)置；

從產(chǎn)生器，其包括三個從功率控制器，所述從功率控制器中的每個配置有預(yù)定義的功率設(shè)置；以及

控制電路，其作為輸入連接到所述主產(chǎn)生器和所述從產(chǎn)生器中的每一個，所述控制電路被配置為產(chǎn)生脈沖信號，所述脈沖信號被定義為包括定義在多個周期的操作過程中進(jìn)行重復(fù)的周期的三個狀態(tài)，每個狀態(tài)被定義以選擇所述三個主功率控制器中的第一或第二或第三個，同時也選擇所述三個從功率控制器中的第一或第二或第三個。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理系統(tǒng)，其中，所述主產(chǎn)生器包括三個主自動頻率調(diào)諧器，所述主自動頻率調(diào)諧器中的每個配置有預(yù)定義的頻率設(shè)置，其中，所述從產(chǎn)生器包括三個從自動頻率調(diào)諧器，所述從自動頻率調(diào)諧器中的每個配置有預(yù)定義的頻率設(shè)置，每個狀態(tài)被定義以選擇所述三個主自動頻率調(diào)諧器中的第一或第二或第三個，同時也選擇所述三個從自動頻率調(diào)諧器中的第一或第二或第三個。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理系統(tǒng)，其中，所述主產(chǎn)生器包括主射頻產(chǎn)生器且所述從產(chǎn)生器包括從射頻產(chǎn)生器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理系統(tǒng)，其中，所述主功率控制器是所述主產(chǎn)生器的處理器的部件，其中，所述從功率控制器是所述從產(chǎn)生器的處理器的部件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理系統(tǒng)，其中，所述脈沖信號是數(shù)字脈沖信號。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體處理系統(tǒng)，其中，所述操作包括所述主射頻產(chǎn)生器和所述從射頻產(chǎn)生器的操作。

7.一種等離子體系統(tǒng)，其被配置用于使用多個狀態(tài)的操作，所述等離子體系統(tǒng)包括：

主射頻產(chǎn)生器，其用于接收脈沖信號，所述脈沖信號具有三個或更多個狀態(tài)，所述三個或更多個狀態(tài)包括第一狀態(tài)、第二狀態(tài)和第三狀態(tài)，所述主射頻產(chǎn)生器經(jīng)由阻抗匹配電路耦合到等離子體室，

從射頻產(chǎn)生器，其用于接收所述脈沖信號，所述從射頻產(chǎn)生器經(jīng)由所述阻抗匹配電路耦合到所述等離子體室，

所述主射頻產(chǎn)生器和所述從射頻產(chǎn)生器中的每個被配置為判定所述脈沖信號是否處于所述第一狀態(tài)或所述第二狀態(tài)或所述第三狀態(tài)，

所述主射頻產(chǎn)生器被配置為響應(yīng)于所述脈沖信號處于所述第一狀態(tài)的判定將具有第一主量化電平的射頻信號提供給所述阻抗匹配電路，

所述從射頻產(chǎn)生器被配置為響應(yīng)于所述脈沖信號處于所述第一狀態(tài)的判定將具有第一從量化電平的射頻信號提供給所述阻抗匹配電路，

所述主射頻產(chǎn)生器被配置為響應(yīng)于所述脈沖信號處于所述第二狀態(tài)的判定將具有所述第一主量化電平的射頻信號提供給所述阻抗匹配電路，

所述從射頻產(chǎn)生器被配置為響應(yīng)于所述脈沖信號處于所述第二狀態(tài)的判定將具有第二從量化電平的射頻信號提供給所述阻抗匹配電路，

所述主射頻產(chǎn)生器被配置為響應(yīng)于所述脈沖信號處于所述第三狀態(tài)的判定將具有第二主量化電平的射頻信號提供給所述阻抗匹配電路，

所述從射頻產(chǎn)生器被配置為響應(yīng)于所述脈沖信號處于所述第三狀態(tài)的判定將具有第三從量化電平的射頻信號提供給所述阻抗匹配電路。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第一和第二狀態(tài)與所述主射頻產(chǎn)生器的相同的功率電平相關(guān)聯(lián)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第一、第二和第三狀態(tài)與所述主射頻產(chǎn)生器的不同的功率電平相關(guān)聯(lián)。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第一狀態(tài)在與所述第二狀態(tài)的發(fā)生的時間段相等的時間段期間發(fā)生。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第一狀態(tài)在與所述第二狀態(tài)的發(fā)生的時間段不相等的時間段期間發(fā)生。

12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第二狀態(tài)在與所述第三狀態(tài)的發(fā)生的時間段相等的時間段期間發(fā)生。

13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第二狀態(tài)在與所述第三狀態(tài)的發(fā)生的時間段不相等的時間段期間發(fā)生。

14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的等離子體系統(tǒng)，其中，所述第一主量化電平、所述第二主量化電平、所述第一從量化電平、所述第二從量化電平和所述第三從量化電平是功率電平。