[發明專利]光刻環形照明模式產生裝置

有效

• 申請號: 201310422536.8
• 申請日: 2013-09-16
• 公開（公告）號: CN103472687A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 張運波;曾愛軍;王瑩;黃惠杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種用于投影光刻機的光刻環形照明模式產生裝置，包括激光源，特征在于沿激光源輸出光束方向依次是第一透鏡、第二透鏡、錐形光束產生器件、平凸錐透鏡，所述的平凸錐透鏡固定在直線位移臺上，該直線位移臺帶動所述的平凸錐透鏡沿激光源輸出光束方向直線運動，所述的第一透鏡和第二透鏡構成擴束準直鏡組，所述的錐形光束產生器件采用具有三個光軸的雙折射晶體制成，沿三個光軸方向的折射率分別n₁、n₂、n₃，并且滿足n₁<n₂<n₃，所述的折射率為n₂的光軸與激光束輸出方向平行，所述的錐形光束產生器件的外形為長方體，該長方體與激光源輸出光束方向平行的邊長為L，與激光源輸出光束方向垂直面為正方形，邊長為W，并滿足下列關系：

W>L·tan(2(n2-n1)(n3-n2)/n2).]]>

2.根據權利要求1所述的光刻環形照明模式產生裝置，其特征在于所述的第一透鏡和第二透鏡為球面鏡、非球面鏡或柱面鏡。

3.根據權利要求1所述的光刻環形照明模式產生裝置，其特征在于所述平凸錐透鏡的錐角θ大于10°。