[發明專利]用于超導穩頻振蕩器的超導諧振腔的內表面處理方法有效
| 申請號： | 201310418599.6 | 申請日： | 2013-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN103457567A | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發明（設計）人： | 王暖讓;崔永順;楊仁福;高連山;年豐 | 申請（專利權）人： | 北京無線電計量測試研究所 |
| 主分類號： | H03H9/02 | 分類號： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 張文祎 |
| 地址： | 100854 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 超導 振蕩器 諧振腔 表面 處理 方法 | ||
1.用于超導穩頻振蕩器的超導諧振腔的內表面處理方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：
離心式滾磨拋光，向超導諧振腔內添加磨料，超導諧振腔繞設于其外部的轉軸轉動的同時繞自身的中心線轉動，離心式滾磨拋光的時間為10-15天；
低溫退火，低溫退火的溫度為750℃，低溫退火的時間為2-5小時，低溫退火時的真空度為10-8-10-10torr，低溫退火后隨爐冷卻至室溫；
高溫退火，高溫退火的溫度為1400-1500℃，高溫退火的時間為24-32小時，高溫退火時的真空度為10-8-10-10torr，高溫退火后隨爐冷卻至室溫；
化學拋光，化學拋光的拋光劑使用體積比氫氟酸：硝酸：磷酸為1：1：1的第一混合酸溶液，將所述第一混合酸溶液添加到超導諧振腔中，化學拋光的時間為20-40分鐘，化學拋光的深度為100-200μm；
電拋光，電拋光的拋光劑使用體積比氫氟酸：硫酸為1：9的第二混合酸溶液，將所述第二混合酸溶液添加到超導諧振腔中，然后在所述第二混合酸溶液與超導諧振腔的內表面之間施加220V的交流電壓，且施加該交流電壓的時間為20-40分鐘，使得所述第二混合酸溶液與超導諧振腔的內表面之間產生電化學反應；
高壓水沖洗，高壓水沖洗時使用國家一級電子水，其水壓為80kgf/cm2,高壓水沖洗的時間為40-120分鐘；
低溫烘烤，低溫烘烤的溫度為70-80℃，低溫烘烤的時間為3-7天，低溫烘烤時的真空度為3*10-8-3.8*10-9torr。
2.根據權利要求1所述的用于超導穩頻振蕩器的超導諧振腔的內表面處理方法，其特征在于，低溫退火之后，高溫退火開始之前，超導諧振腔一直處于真空度為10-8-10-10torr的真空環境中。
3.根據權利要求1所述的用于超導穩頻振蕩器的超導諧振腔的內表面處理方法，其特征在于，進行化學拋光前，用超聲波對超導諧振腔進行清洗。
4.根據權利要求1所述的用于超導穩頻振蕩器的超導諧振腔的內表面處理方法，其特征在于，化學拋光時所述第一混合酸溶液的溫度為20℃-24℃。
5.根據權利要求1所述的用于超導穩頻振蕩器的超導諧振腔的內表面處理方法，其特征在于，低溫烘烤時的升溫速率為5℃/30分鐘。
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