[發(fā)明專利]芯片成品測試機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310411996.0
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN103454576A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設計）人: 朱玉萍;朱國璋;岑剛
• 申請（專利權）人: 嘉興景焱智能裝備技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R31/01
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽;黃燕石

技術領域

本發(fā)明涉及集成電路芯片處理技術領域，特別是一種芯片成品測試機。

背景技術

????MEMS芯片成品生產后，要對芯片進行檢測，檢測內容包括物理缺陷檢測、磁感應檢測等等，檢測后的合格芯片要進行封裝，不合格芯片要進行回收?，F有的操作流程中，這一系列動作均通過人工完成，個別工步通過自動化操作實現，但總體來說，人工干預大，效率低，給芯片造成的污染大。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是為了解決上述技術問題，提供一種芯片成品測試機，通過全自動化流程，實現芯片的快速檢測試。

本發(fā)明采取的技術方案是：

一種芯片成品測試機，其特征是，包括底座，在所述底座的第一側設置芯片傳送裝置、在所述底座的第二側設置送檢裝置，所述芯片傳送裝置和送檢裝置均具有沿底座側邊的縱向導軌，在所述底座上位于兩個縱向導軌的上方跨設一個橫向導軌，在所述橫向導軌上設置角度拾取裝置，所述角度拾取裝置的拾取臂位于所述橫向導軌的左側，在所述底座上位于所述橫向導軌的左側設置第一相機檢測裝置，在所述橫向導軌上設置位移拾取裝置，所述位移拾取裝置的拾取臂位于所述橫向導軌的右側，在所述底座上位于所述橫向導軌的右側設置第二相機檢測裝置、揭蓋合蓋裝置、氣缸翻轉裝置和最終角度定位裝置，所述芯片傳送裝置將芯片傳送至預設位置，所述角度拾取裝置將芯片拾取并經所述第一相機檢測裝置檢測后進行角度調整，并將調整后的芯片堆疊入芯片盒，所述芯片盒置于所述送檢裝置，經所述揭蓋合蓋裝置對所述芯片盒進行封蓋，封蓋后的芯片盒經送檢裝置運送至氣缸翻轉裝置，所述氣缸翻轉裝置將所述芯片盒翻轉預設角度，所述送檢裝置將所述芯片盒送入所述最終角度定位裝置，使所述芯片盒置于一個磁場中進行測試，測試完成后，所述芯片盒由所述氣缸翻轉裝置翻轉至水平狀態(tài)，所述送檢裝置將所述芯片盒送到所述揭蓋盒蓋裝置位置，所述揭蓋合蓋裝置將所述芯片盒的蓋子揭開，所述送檢裝置將所述芯片盒送到所述位移拾取裝置位置，所述位移拾取裝置拾取所述芯片盒中的芯片通過所述第二相機裝置進行檢測。

進一步，所述芯片成品測試機還包括回收裝置和編帶裝置，所述回收裝置設置在所述第二相機裝置的一側，所述編帶裝置設置在所述橫軸上靠近所述芯片傳送裝置的一側，所述第二相機裝置對所述芯片檢測完成后，所述位移拾取裝置將不合格芯片放置于所述回收裝置中，將合格芯片通過所述編帶裝置進行封裝。

進一步，所述芯片成品測試機還包括回收裝置和芯片盤，所述回收裝置設置在所述第二相機裝置的一側，所述編帶裝置設置在所述橫軸上靠近所述芯片傳送裝置的一側，所述第二相機裝置對所述芯片檢測完成后，所述位移拾取裝置將不合格芯片放置于所述回收裝置中，將合格芯片通過所述芯片盤輸出。

進一步，所述送檢裝置上的芯片盒為兩個，送檢裝置上的空的芯片盒用于芯片填裝，送檢裝置上的裝滿芯片的芯片盒用于后面的檢測。

進一步，所述送檢裝置包括多個手動送檢裝置，當所述每個手動送檢測裝置均有芯片盒，所述角度拾取裝置將所述芯片傳送裝置上的芯片依次堆疊至所述每個手動檢測裝置。

一種芯片成品測試機，其特征是，包括底座，在所述底座上設置芯片傳送裝置、所述芯片傳送裝置具有沿底座側邊方向的縱向導軌，在所述底座上位于所述芯片傳送裝置的上方跨設一個橫向導軌，在所述橫向導軌上設置位移拾取裝置，在所述橫軸的一端設置編帶裝置，所述位移拾取裝置將所述芯片傳送裝置傳送過來的芯片拾取搬運至所述編帶裝置進行封裝。

本發(fā)明的有益效果是：

（1）實現了對芯片的分步檢測的自動化；

（2）檢測效率高，減少了人工干預帶來的不利因素；

（3）簡化結構后，形成一種芯片封裝機器。

附圖說明

附圖1為芯片成品測試機的俯視圖；

附圖2為芯片成品測試機的一個視角的立體圖；

附圖3為芯片成品測試機的另一個視角的立體圖。

附圖中的標記分別為：

1．底座；?????????????????????????????????????2．芯片傳送裝置；

3．送檢裝置；?????????????????????????????4．橫向導軌；

5．角度拾取裝置；?????????????????????6．第一相機檢測裝置；

7．位移拾取裝置；?????????????????????8．第二相機檢測裝置；

9．揭蓋合蓋裝置；?????????????????????10．氣缸翻轉裝置；