[發明專利]一種石英承載舟無效
| 申請號： | 201310401683.7 | 申請日： | 2013-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN103474382A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 郭城;呂明;徐明星;郭英云;紀大鵬 | 申請（專利權）人： | 濟南科盛電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 濟南日新專利代理事務所 37224 | 代理人： | 謝省法 |
| 地址： | 250200 山東省濟南*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石英 承載 | ||
【權利要求書】：
1.一種石英承載舟，包括有舟體及設置在舟體兩端的拉環，舟體包括下刻槽石英棒及與之相連的上支撐石英棒、中支撐石英棒、下支撐石英棒、承重石英棒等組成，其特征在于：在所述舟體上設置上刻槽石英棒、在所述上刻槽石英棒、下刻槽石英棒之間設置側支撐石英彎板。
2.按照權利要求1所述的一種石英承載舟，其特征在于：所述側支撐石英彎板截面呈矩形且至少設置兩個。
3.按照權利要求1或2所述的一種石英承載舟，其特征在于：所述側支撐石英彎板兩邊對稱設置。
4.按照權利要求3所述的一種石英承載舟，其特征在于：所述側支撐石英彎板均布設置。
5.按照權利要求1所述的一種石英承載舟，其特征在于：所述上刻槽石英棒的刻槽與所述下刻槽石英棒的刻槽一一對應。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
