[發明專利]一種多晶硅干法尾氣分離回收的方法及裝置

在審

• 申請號: 201310393698.3
• 申請日: 2013-09-03
• 公開（公告）號: CN103466548A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 宋高杰;張旭;陳文岳;劉桂林
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B3/52
• 分類號: C01B3/52;C01B33/107
• 代理公司: 北京中恒高博知識產權代理有限公司 11249
• 代理人: 夏晏平

1.一種多晶硅干法尾氣分離回收的方法，其特征在于：首先從解析塔（2）側線采出產品氯硅烷去產品罐區；再從解析塔（2）底部采出溫度較高的123-135℃貧液通過循環液輸送泵（4）與吸收塔1塔底溫度較低的15-35℃富液換熱后作為吸收塔（1）的吸收液。

2.一種用于權利1所述的多晶硅干法尾氣分離回收的方法的裝置，其特征為包括：吸收塔（1），解析塔（2）、換熱器（3）和循環液輸送泵（4）；其特征在于所述解析塔（2）塔底與循環液輸送泵（4）進口連通；循環液輸送泵（4）出口與換熱器（3）管程下端入口連通；換熱器（3）管程上端出口與吸收塔（1）上部入口連通；吸收塔（1）底部出口與換熱器（3）殼程下端入口連通；換熱器(3)殼程上端出口與解析塔(2)中部進料口連通；解析塔(2)中下部側線采出產品利用壓差送至產品罐區。

3.根據權利要求2所述的多晶硅干法尾氣分離回收的方法的裝置，其特征為所述的吸收塔(1)、解析塔(2)均為填料塔，且塔內均設有液體收集器及分布器；所述的解析塔有三段填料組成，設備中下部兩段填料間設有側線采出口；所述的換熱器(3)是雙管程換熱器。

4.根據權利要求1、2或3所述的多晶硅干法尾氣分離回收方法，其特征為吸收塔（1）、解析塔（2）、換熱器（3）均為法蘭連接。

5.?根據權利要求1、2或3所述的多晶硅干法尾氣分離回收方法，其特征為吸收塔（1）、解析塔（2）兩塔內設置的液體收集器，分布器，去沫器必須能夠從塔設備的人孔進行裝卸；且收集器及分布器為配套使用，設有預防壁流構件，材質為SS304或耐蝕性更好的材質；去沫器為絲網結構，去沫效率不小于99.9%，材質為SS304或耐蝕性更好的材質。

6.?根據權利要求3所述的多晶硅干法尾氣分離回收方法，其特征為解析塔三段填料結構為比表面積不小于250m²/m³的鮑爾環，材質為

SS304或耐蝕性更好的材質。