[發明專利]一種用于光刻機工件臺的具有柔性關節的線纜臺

有效

• 申請號: 201310390448.4
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN103454863A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 朱煜;張鳴;成榮;劉召;楊開明;徐登峰;張利;秦慧超;趙彥坡;胡清平;田麗;葉偉楠;張金;尹文生;穆海華;胡金春
• 申請（專利權）人: 清華大學;北京華卓精科科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種用于光刻機工件臺的具有柔性關節的線纜臺，其特征在于：所述的線纜臺含有從平面電機引出的線纜束（8）、柔性關節（7）、Y方向直線氣浮導軌滑塊機構（6）、X方向直線導軌滑塊機構（5）和X方向直線電機（9）；所述的線纜束（8）與所述的X方向直線導軌滑塊機構（5）的滑塊連接，所述的X方向直線電機（9）驅動X方向直線導軌滑塊機構（5）的滑塊沿著X方向運動；所述的柔性關節（7）含有第一滾珠軸承（11）、第二滾珠軸承（12）和一個沿X方向布置的微型直線導軌滑塊機構（13）；所述的第一滾珠軸承（11）沿Y方向布置，第一滾珠軸承的轉軸與微型直線導軌滑塊機構（13）的導軌連接，第一滾珠軸承的軸套和所述的第二滾珠軸承（12）的軸套通過一個連接塊（10）固定在一起；所述的微型直線導軌滑塊機構（13）的滑塊通過一個T形連接塊（16）與平面電機的動子連接在一起；第二滾珠軸承（12）沿Z軸方向布置，第二滾珠軸承（12）的轉軸與所述的Y方向直線氣浮導軌滑塊機構（6）的滑塊連接在一起；所述的Y方向直線氣浮導軌滑塊機構（6）是通過一個L型連接板（18）與X方向直線導軌滑塊機構（5）的滑塊連接在一起。

2.按照權利要求1所述的一種用于光刻機工件臺的具有柔性關節的線纜臺，其特征在于：在所述的柔性關節（7）上安裝有兩個光電位置探測器（30），兩個光電位置探測器對稱布置在第二滾珠軸承（12）的兩側；每個光電位置探測器（30）包括一個光電位置傳感器（31）和一個激光準直器（32）；兩個激光準直器分別固定在一個V型連接板（17）上，而該V型連接板（17）則與所述的Y方向氣浮直線導軌滑塊機構（6）的滑塊固定在一起；兩個光電位置傳感器（32）則位于T形連接塊（16）上，并分別對應于一個激光準直器（31），并保證每個激光準直器（31）垂直于光電位置傳感器（32）的感光面。

3.按照權利要求1所述的一種用于光刻機工件臺的具有柔性關節的線纜臺，其特征在于：在所述的Y方向直線氣浮導軌滑塊機構（6）和X方向直線導軌滑塊機構（5）上分別安裝有線性光柵尺。

4.按照權利要求1所述的一種用于光刻機工件臺的具有柔性關節的線纜臺，其特征在于：所述的線纜束（8）采用扁平的線纜排管。