[發(fā)明專利]基板處理方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310384963.1
• 申請(qǐng)日: 2013-08-29
• 公開（公告）號(hào): CN103681236A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李康奭;李載明;李福圭;李龍熙;李鎮(zhèn)福
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊生平;鐘錦舜

1.一種基板處理方法，包括：

使用化學(xué)溶液處理基板；

在使用所述化學(xué)溶液處理所述基板后，使用純水沖洗所述基板；以及

使用有機(jī)溶劑處理所述基板；

其中，所述基板處理方法進(jìn)一步包括：在所述化學(xué)溶液處理和所述有機(jī)溶液處理之間用疏水膜涂覆所述基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理方法，其中，在沖洗所述基板之后，執(zhí)行用所述疏水膜涂覆所述基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理方法，進(jìn)一步包括通過在沖洗所述基板和用所述疏水膜涂覆所述基板之間將所述有機(jī)溶劑供給到所述基板上以用所述有機(jī)溶劑替代在所述基板上的所述純水。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理方法，其中，所述有機(jī)溶劑包括異丙醇（IPA）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板處理方法，其中，用所述疏水膜涂覆所述基板包括將水溶性涂層溶液提供到所述基板上，所述水溶性涂層溶液包含與所述基板的圖案表面上的硅（Si）反應(yīng)的基于硅氧烷的疏水化合物。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任何一項(xiàng)所述的基板處理方法，其中，用所述疏水膜涂覆所述基板包括將有機(jī)涂層溶液提供到所述基板上，在所述有機(jī)涂層溶液中，將與所述基板的所述圖案表面上的硅（Si）反應(yīng)的基于硅氧烷的疏水化合物與所述有機(jī)溶劑混合。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任何一項(xiàng)所述的基板處理方法，進(jìn)一步包括在干燥所述基板后除去所述疏水膜。