[發明專利]摻鋁氧化鋅薄膜及其制備方法

無效

• 申請號: 201310382181.4
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN103451637A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 徐東;徐永清;郭友沛
• 申請（專利權）人: 深圳市亞太興實業有限公司
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

1.一種摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

將穩定劑分散于鋅源化合物的溶液中后，加入鋁源化合物進行攪拌，靜置陳化，得到摻鋁氧化鋅凝膠；其中，所述鋅源化合物與鋁源化合物的摩爾比為95～99.5:5～0.5；

將所述凝膠在基板上涂膜，干燥，預熱處理，得到摻鋁氧化鋅薄膜前驅體；

將所述薄膜前驅體在H₂與N₂的混合氣體、N₂、Ar、空氣中的任一種氣氛中進行熱處理后冷卻，得到所述摻鋁氧化鋅薄膜。

2.根據權利要求1所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，所述基板的表面附有緩沖層，所述緩沖層的材質為CdS或ZnS。

3.根據權利要求1所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，在制備所述摻鋁氧化鋅薄膜前驅體的步驟中，所述涂膜、干燥、預熱處理的步驟重復5～20次。

4.根據權利要求1所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，在制備所述摻鋁氧化鋅薄膜前驅體的步驟中，所述干燥的溫度為80～120℃，時間為5～30分鐘；和/或所述預熱處理的溫度為200～300℃，時間為10～60分鐘。

5.根據權利要求1所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，所述薄膜前驅體經熱處理后的冷卻處理是在H₂與N₂的混合氣體、N₂、Ar、空氣中的任一種氣氛中自然冷卻。

6.根據權利要求1～5所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，所述鋅源化合物為醋酸鋅、丙烯酸鋅、乙酰丙酮鋅、丙酸鋅、硝酸鋅中的至少一種。

7.根據權利要求1～5所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，所述鋁源化合物為硝酸鋁、氯化鋁、三乙醇鋁、乙酰丙酮鋁、氫氧化鋁中的至少一種。

8.根據權利要求1～5所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，在將穩定劑分散于鋅源化合物的溶液之前還包含溶解鋅源化合物的步驟，溶劑為乙二醇甲醚、乙二醇丁醚、、甲醇、乙醇、異丙醇中的至少一種。

9.根據權利要求1～5所述的摻鋁氧化鋅薄膜的制備方法，其特征在于，所述穩定劑為單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、二異丙胺、氨水中的至少一種。

10.一種摻鋁氧化鋅薄膜，由權利要求1～9所述的摻鋁氧化鋅薄膜制備方法制備而成。