[發明專利]內嵌式金屬網柵的電磁屏蔽光窗的制備方法有效
| 申請號： | 201310380357.2 | 申請日： | 2013-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN103442544A | 公開（公告）日： | 2013-12-11 |
| 發明（設計）人： | 張龍;居永鳳;姜雄偉;范有余;袁新強 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | H05K9/00 | 分類號： | H05K9/00;C03C17/06 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 內嵌式 金屬網 電磁 屏蔽 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種內嵌式電磁屏蔽光窗的制備方法，特征在于該方法包括如下步驟：
①飛秒激光刻蝕：利用飛秒激光在摻雜了銀離子的紅外玻璃表面掃描刻蝕，形成周期性網柵凹槽；該凹槽的線寬大于1μm，深度為1～10μm，周期小于電磁屏蔽的電磁波段的最小波長的二分之一；
②熱處理：對飛秒激光加工過的紅外玻璃在300～600℃進行4～8小時熱處理；
③鍍銅：將樣品放入化學鍍銅液中進行鍍銅0.5～3小時。
2.按照權利要求1所述的方法，其特征在于所采用的飛秒激光的重復頻率為250kHz，單脈沖能量為1.5～5μJ，聚焦物鏡的N.A.范圍為0.15～0.8，激光掃描的速度為2～20mm/s。
3.按照權利要求1或2所述的方法，其特征在于所述的紅外玻璃的重量百分比組分為18GeO2-26Ga2O3-46BaO-3.5Al2O3–4Na2CO3-（2.5-x）BaCl2-xAgNO3，其中摻雜的銀離子含量x為0.5～2。
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