[發明專利]多晶硅冷氫化的殘液回收系統

無效

• 申請號: 201310372330.9
• 申請日: 2013-08-24
• 公開（公告）號: CN104415560A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 齊林喜;郭金強
• 申請（專利權）人: 內蒙古盾安光伏科技有限公司
• 主分類號: B01D1/14
• 分類號: B01D1/14;C01B33/107
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

????本發明涉及一種殘液回收系統，具體涉及一種多晶硅冷氫化的殘液回收系統。

背景技術

????多晶硅制造過程中，洗滌系統的殘液需要分離回收使用，這些殘液包括液態的氯硅烷液體和硅粉顆粒，一般需要另外設置一個攪拌機在殘液罐內攪動。但是，攪拌機的金屬葉片在殘液中的攪動，會對殘液造成污染，影響后續的多晶硅產品質量。　　　

發明內容

???針對上述所存在的問題，本發明的目的是提供一種更為清潔的多晶硅冷氫化的殘液回收系統。

???一種多晶硅冷氫化的殘液回收系統，用于回收來自于洗滌系統的殘液。多晶硅冷氫化的殘液回收系統包括盛放殘液的殘液罐、氣化氯硅烷的氣化器和冷凝液回收器。氣化器與該殘液罐通過鼓泡管連接到殘液罐并利用氣化后的氯硅烷將殘液罐內的殘液鼓泡并加熱，該冷凝液回收器收集來自于殘液罐的氣態氯硅烷。

本案的多晶硅冷氫化的殘液回收系統利用氣化后的氯硅烷鼓泡蒸發殘液罐內的液體，實現固液分離，同時，蒸發后的氯硅烷液體可以和鼓泡用的氯硅烷一起冷凝后作為多晶硅冷氫化制造的原料，循環利用，整個回收處理過程沒有不必要的介質進入，可以保證回收后的物料不會受到雜質污染，保證后續多晶硅生產的純度。

附圖說明

???圖1是本發明多晶硅冷氫化的殘液回收系統的結構原理示意圖。

具體實施方式

???下面將結合附圖對本發明作進一步說明。

???如圖1所示，本發明的多晶硅冷氫化的殘液回收系統用于回收來自于洗滌系統10的殘液。多晶硅冷氫化的殘液回收系統包括殘液罐20、氣化器22和冷凝液回收器24。其中殘液罐20用于盛放來自于洗滌系統10的殘液，殘液的主要成分為液態氯硅烷和硅粉顆粒。氣化器22利用鼓泡管221與殘液罐20底部相連，氣化器22用于將氯硅烷原料加熱氣化，然后通過鼓泡管221通入殘液罐20底部在殘液罐20內鼓泡。氣態的氯硅烷在鼓泡的同時，加熱殘液，使殘液中液態的氯硅烷變成氣態。殘液罐20頂部有通氣管241通入冷凝液回收器24。通入殘液罐20用于鼓泡的氣態氯硅烷和殘液中被加熱成為氣態氯硅烷一起，經過通氣管241進入冷凝液回收器24冷凝呈液態，經純化后作為多晶硅冷氫化的原料備用。?????本案的多晶硅冷氫化的殘液回收系統利用氣化后的氯硅烷鼓泡蒸發殘液罐20內的液體，實現固液分離，同時，蒸發后的氯硅烷液體可以和鼓泡用的氯硅烷一起冷凝后作為多晶硅冷氫化制造的原料，循環利用，整個回收處理過程沒有不必要的介質進入，可以保證回收后的物料不會受到雜質污染，保證后續多晶硅生產的純度。

???可以理解，還可以設置一個循環泵，循環泵利用管道分別與冷凝液回收器24和氣化器22相連。循環泵用于將冷凝液回收器24的液態氯硅烷部分抽取通入氣化器22中，形成循環，使系統可以連續長久工作。

???可以理解，殘液罐20還可以通過管道與氣化器直接相連，殘液罐20中的氣體直接進入氣化器中再加熱，更為節能。

???以上所述，為本發明的較佳實施案例，并非對本發明作任何限制，凡是根據本發明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬于本發明技術方案的保護范圍內。