[發明專利]反斯托克司性質熒光隨動針孔微結構角譜掃描測量裝置

有效

• 申請號: 201310354510.4
• 申請日: 2013-08-15
• 公開（公告）號: CN103411938A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 劉儉;譚久彬;王宇航
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01N21/64
• 分類號: G01N21/64
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務所(普通合伙) 23209
• 代理人: 張偉

1.反斯托克司性質熒光隨動針孔微結構角譜掃描測量裝置，其特征在于：包括激光器（1）、第一掃描振鏡（2）、第二掃描振鏡（3）、掃描透鏡（4）、第一光闌（5）、第一成像透鏡（6）、分光鏡（7）、第二光闌（8）、顯微物鏡（9）、掃描載物臺（10）、管鏡（11）、熒光隨動針孔（12）、第二成像透鏡（13）、窄帶濾光片（14）和CCD相機（15）；從激光器（1）發出的光束經過第一掃描振鏡（2）和第二掃描振鏡（3）反射后，依次經過掃描透鏡（4）、第一光闌（5）、第一成像透鏡（6）、分光鏡（7）、第二光闌（8）、顯微物鏡（9）照射到隨掃描載物臺（10）軸向運動的被測微結構樣品表面，構成角譜掃描照明光路；從被測微結構樣品表面漫反射的光束再次經過顯微物鏡（9）、第二光闌（8），并由分光鏡（7）反射，經管鏡（11）會聚到熒光隨動針孔（12），激發出的熒光被第二成像透鏡（13）和窄帶濾光片（14）成像到CCD相機（15），構成熒光隨動針孔探測光路；第一掃描振鏡（2）和第二掃描振鏡（3）的轉軸相互垂直，掃描透鏡（4）的后焦平面與第一成像透鏡（6）的物平面重合于第一光闌（5）所在平面；第一成像透鏡（6）的像平面與顯微物鏡（9）的后焦平面重合于第二光闌（8）所在平面；管鏡（11）的前焦平面與第二成像透鏡（13）的物平面重合于熒光隨動針孔（12）所在平面。CCD相機（15）位于第二成像透鏡（13）像平面，濾光片（14）放置于熒光隨動針孔（12）和CCD相機（15）之間；所述的熒光隨動針孔（12）為均勻鍍有具有反斯托克司性質的熒光物質的透明薄基底材料。

2.根據權利要求1所述的反斯托克司性質熒光隨動針孔微結構角譜掃描測量裝置，其特征在于：所述的透明薄基底材料為厚度不超過0.17mm的玻璃，上下表面平行且進行剖光處理。