[發明專利]一種可補償軸系誤差的立式晶圓形狀測量裝置

無效

• 申請號: 201310345972.X
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN103389052A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 夏發平
• 申請（專利權）人: 昆山允可精密工業技術有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B11/06
• 代理公司: 江蘇致邦律師事務所 32230
• 代理人: 謝偉

1.一種可補償軸系誤差的立式晶圓形狀測量裝置，其特征在于，包括：

鋼架底座；

電控柜，所述的電控柜安裝在鋼架底座內部，電控柜裝有電控系統；

工控機，所述的工控機設在電控柜的側面、鋼架底座的內部；

平臺，所述的平臺設在鋼架底座上；

支撐座，所述的支撐座設在平臺上；

橫梁，所述的橫梁設在支撐座上；

軸系，所述的軸系包括X軸、Y軸、Z軸和旋轉軸；

所述的X軸設在橫梁上；

所述的Y軸設在平臺上，與X軸相互垂直；

所述的Z軸固定在X軸動板上、與X軸運動方向相互垂直，且其運動方向垂直于測量平臺；

所述的旋轉軸固定在Y軸動板上；

晶圓承載臺，所述的晶圓承載臺固定在旋轉軸上；

接觸式測長裝置，所述的接觸式測長裝置固定在Z軸動板上；

平面平晶，所述的平面平晶設在與X軸運動方向平行的橫梁上。

2.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述的接觸式測長裝置底板的上下分別安裝有空氣導軌，上、下空氣導軌結構相同，其靠外側分別安裝有探針，而空氣導軌的導芯與測長裝置的下端板、上端板之間安裝有精密彈簧，導芯的另一端分別安裝有連接件，連接件上分別安裝有激光尺，激光尺對應位置安裝有激光位移傳感器，激光位移傳感器相對激光尺的安裝精度通過激光位移傳感器安裝板來進行調節。

3.根據權利要求2所述的測量裝置，其特征在于，所述的空氣導軌僅具有一維運動自由度。

4.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述的軸系全部通過伺服電機精確控制。

5.根據權利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述的晶圓承載臺包括承載臺安裝座、轉接板、調節螺釘、精密彈簧、吸氣孔氣管接頭、直角定位塊、吸附孔板和吸附槽板，所述的轉接板設在承載臺安裝座的上表面，吸附槽板設在轉接板的上方，吸附槽板與轉接板通過調節螺釘連接在一起，吸附槽板與轉接板之間設有精密彈簧，所述的吸附孔板設在吸附槽板的上表面，直角定位塊通過定位銷釘固定在吸附孔板的兩條直角邊上，所述轉接板上有若干個圓孔，在吸附槽板對應轉接板上圓孔的位置設有吸氣孔氣管接頭。