[發明專利]一種具有三加熱器的藍寶石晶體生長爐

有效

• 申請號: 201310340342.3
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN103469295A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 朱亮;張俊;曹建偉;王巍;沈興潮
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B15/14
• 分類號: C30B15/14;C30B29/20
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種具有三加熱器的藍寶石晶體生長爐，包括加熱器，其特征在于，所述加熱器為采用鎢絲編織而成的網狀加熱器，加熱器設有三個，分別為上部加熱器、中部加熱器和下部加熱器，上部加熱器和中部加熱器分別安裝在藍寶石晶體生長爐的爐筒上部和中部的電極上，下部加熱器安裝在藍寶石晶體生長爐的爐底板電極上。

2.根據權利要求1所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，所述上部加熱器、中部加熱器和下部加熱器分別豎直安裝在對應電極上。

3.根據權利要求1所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，所述上部加熱器、中部加熱器和下部加熱器分別通過電極、水冷電纜與電源柜連接。

4.根據權利要求3所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，所述電源柜分別設有能單獨調節三個加熱器加熱功率的獨立電源控制系統。

5.根據權利要求1至4任意一項所述的藍寶石晶體生長爐，其特征在于，所述加熱器設置在藍寶石晶體生長爐的坩堝與保溫屏之間。

6.基于權利要求1所述的藍寶石晶體生長爐的控制方法，其特征在于，利用所述藍寶石晶體生長爐中的加熱器對爐內進行加溫時，上部加熱器、中部加熱器和下部加熱器的功率符合K1:?K2:?K3，其中K1為上部加熱器的功率，?K2為中部加熱器的功率，K3為下部加熱器的功率，且滿足公式K1=aP、K2=bP、K3=cP和a+b+c=100%，其中a、b、c為比例系數，a的取值范圍為30%～40%，b的取值范圍為30%～40%，c的取值范圍為30%～40%，P為三個加熱器上的總功率，P的取值范圍為0～85千瓦。

7.根據權利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述上部加熱器、中部加熱器和下部加熱器上產生的熱量分別滿足公式Q=dU²，其中d為比例系數，d的取值范圍為130～230，Q為上部加熱器、中部加熱器或者下部加熱器上產生的熱量，U為上部加熱器、中部加熱器或者下部加熱器上的電壓。