[發(fā)明專利]硒化/硫化處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310339544.6
• 申請(qǐng)日: 2013-08-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103397305A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李朝暉;宋秋明;譚興;呂文博;顧光一;肖旭東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院;香港中文大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/58
• 分類號(hào): C23C14/58;H01L31/18
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 吳平

1.一種硒化/硫化處理裝置，其特征在于，包括：

反應(yīng)爐，其內(nèi)部開(kāi)設(shè)有反應(yīng)腔；

樣片傳送機(jī)構(gòu)，所述樣片傳送機(jī)構(gòu)用于放置并傳送沉積有前驅(qū)體的樣片，所述樣片位于所述反應(yīng)腔頂部；及

離子生成器，設(shè)置于所述反應(yīng)腔的底部，并與所述樣片相對(duì)，所述離子生成器包括：

收容殼，其上開(kāi)設(shè)有收容槽，所述收容槽用于收容硒源或硫源；及

射頻天線，設(shè)置于所述收容殼外側(cè)，所述射頻天線與外部射頻電源電連接，用于產(chǎn)生射頻電場(chǎng)以將硒源或硫源電離為硒離子或硫離子。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，還包括第一網(wǎng)格電極及第二網(wǎng)格電極，所述第一網(wǎng)格電極及所述第二網(wǎng)格電極設(shè)置于所述樣片與所述離子生成器之間，所述第一網(wǎng)格電極與所述第二網(wǎng)格電極相互平行，且所述第一網(wǎng)格電極較所述第二網(wǎng)格電極更靠近所述離子生成器，所述第一網(wǎng)格電極及所述第二網(wǎng)格電極間產(chǎn)生由所述第二網(wǎng)格電極指向所述第一網(wǎng)格電極的電場(chǎng)，所述硒離子或硫離子經(jīng)過(guò)所述電場(chǎng)加速后射向所述樣片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述第一網(wǎng)格電極及所述第二網(wǎng)格電極的網(wǎng)格為圓形或多邊形結(jié)構(gòu)，所述第一網(wǎng)格電極接地，所述第二網(wǎng)格電極與外部電源的正極電連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述離子生成器還包括加熱機(jī)構(gòu)，所述加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述收容殼外側(cè)，并與所述射頻天線相獨(dú)立，所述加熱機(jī)構(gòu)用于對(duì)硒源或硫源進(jìn)行加熱。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述收容殼為一端開(kāi)口的盒體，所述射頻天線為平面螺旋狀結(jié)構(gòu)，并設(shè)置于所述收容殼底部外側(cè)，所述加熱機(jī)構(gòu)為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，并圍繞于所述收容殼周圍。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述收容殼為一端開(kāi)口的盒體，所述射頻天線為彈簧狀結(jié)構(gòu)，并圍繞于所述收容殼周圍，所述加熱機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述收容殼底部外側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，還包括進(jìn)氣管及抽真空管，所述進(jìn)氣管及所述抽真空管均與所述反應(yīng)腔相導(dǎo)通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述樣片傳送機(jī)構(gòu)上還設(shè)有樣片加熱器。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述離子生成器為多個(gè)，且多個(gè)所述離子生成器并列設(shè)置，所述樣片傳送機(jī)構(gòu)可滑動(dòng)地設(shè)置于所述反應(yīng)腔的腔壁上，并位于所述反應(yīng)腔的頂部。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硒化/硫化處理裝置，其特征在于，所述樣片傳送機(jī)構(gòu)包括放卷滾輪及收卷滾輪，所述放卷滾輪及所述收卷滾輪均設(shè)置于所述反應(yīng)爐外，所述樣片為柔性薄膜，所述柔性薄膜的兩端分別卷繞于所述放卷滾輪及所述收卷滾輪，并穿設(shè)所述反應(yīng)爐，所述放卷滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)以將所述柔性薄膜傳送至所述收卷滾輪，所述收卷滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)以使所述柔性薄膜卷繞于其外側(cè)。