[發明專利]多軸真空機械手軸系精度測試裝置

在審

• 申請號: 201310336884.3
• 申請日: 2013-08-02
• 公開（公告）號: CN103453872A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 劉品寬;吳靜;陳軍委;李玉潔
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01B21/22
• 分類號: G01B21/22;G01B11/02
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 郭國中

1.一種多軸真空機械手軸系精度測試裝置，其特征在于，包括：測試臺（1）、機械手直驅單元（2）、連接法蘭（3）、柔性聯軸器（4）、角度編碼器（5）、角度編碼器安裝支架（6）和激光位移檢測裝置（7），所述角度編碼器安裝支架（6）與所述測試臺（1）連接，所述角度編碼器（5）與所述角度編碼器安裝支架（6）連接；所述連接法蘭設置在所述測試臺（1）上下兩端分別連接所述柔性聯軸器（4）和機械手直驅單元（2），所述柔性聯軸器（4）與所述角度編碼器（5）連接，所述激光位移檢測裝置（7）與所述連接法蘭（3）連接。

2.根據權利要求1所述的多軸真空機械手軸系精度測試裝置，其特征在于，所述機械手直驅單元（2）包括：機械手安裝法蘭（21）和機械手驅動軸（22），所述機械手安裝法蘭（21）與所述測試臺（1）連接，所述機械手驅動軸（22）分別與所述機械手安裝法蘭（21）和連接法蘭（3）連接。

3.根據權利要求1所述的多軸真空機械手軸系精度測試裝置，其特征在于，激光位移檢測裝置（7）包括：兩個激光位移傳感器（71）和二維移動平臺（72），所述二維移動平臺（72）與所述連接法蘭（3）連接，所述兩個激光位移傳感器（71）設置在所述二維移動平臺（72）上。