[發(fā)明專利]一種曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310332055.8
• 申請日: 2013-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN104345573B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王茜;時(shí)燕;王璟;王天明;葛黎黎
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅

1.一種曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：位于一支撐面上的吊框，所述吊框上設(shè)置至少兩個(gè)支腿，一主基板位于所述支腿之上，所述主基板上設(shè)置有相對(duì)隔離的照明支架以及掩模臺(tái)支架。

2.如權(quán)利要求1所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述主基板包括一上封板以及一下封板，所述上封板和下封板均呈工字型，且所述上封板和下封板均包括一位于中間的圓形功能孔，所述上封板和下封板之間由筋板連接。

3.如權(quán)利要求2所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述主基板的上封板上沿所述功能孔均勻分布若干減重孔，所述主基板的下封板上沿所述功能孔均勻分布若干減重孔。

4.如權(quán)利要求2所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上封板和下封板之間由外圍筋板、內(nèi)部筋板、圓環(huán)筋板和側(cè)邊筋板連接而成，所述外圍筋板、內(nèi)部筋板、圓環(huán)筋板和側(cè)邊筋板等高，所述外圍筋板、內(nèi)部筋板、圓環(huán)筋板和側(cè)邊筋板包括若干減重孔。

5.如權(quán)利要求4所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述內(nèi)部筋板連接所述圓環(huán)筋板和所述外圍筋板，所述內(nèi)部筋板的結(jié)構(gòu)為對(duì)稱結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求1所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述吊框包括一上封板以及一下封板，所述上封板和下封板之間由位于中心位置的H型筋板和外圍筋板連接。

7.如權(quán)利要求6所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述H型筋板和外圍筋板通過兩條內(nèi)部橫筋板連接，所述內(nèi)部橫筋板和所述外圍筋板之間還包括四條短筋板。

8.如權(quán)利要求6所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下封板和筋板上均包括若干減重孔。

9.如權(quán)利要求7所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述短筋板與所述內(nèi)部橫筋板平行或垂直。

10.如權(quán)利要求1所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支腿包括一上封板以及一下封板，所述上下封板之間由前后側(cè)板、左右側(cè)板、中間加強(qiáng)板連接。

11.如權(quán)利要求1所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述掩模臺(tái)支架整體成U字形，由板件焊接成密閉結(jié)構(gòu)，內(nèi)部布置加強(qiáng)筋提高測量支架模態(tài)。

12.如權(quán)利要求1所述的曝光裝置的內(nèi)部框架結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述主基板、吊框、支腿以及掩模臺(tái)支架由碳鋼或不銹鋼焊接而成，所述照明支架由方鋼焊接而成或鋁型材拼接而成。