[發明專利]用于沉積的掩模和對準它的方法

在審

• 申請號: 201310328944.7
• 申請日: 2013-07-31
• 公開（公告）號: CN103572246A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 洪宰敏;樸商赫;鄭祐永;權昰娜;姜錫昊;李政烈
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C16/04
• 分類號: C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;王珍仙

技術領域

本發明的實施方式主要涉及用于沉積的掩模和對準它的方法，更具體地涉及用于沉積的掩模和能夠精確地對準用于沉積的掩模和基板的對準它的方法。

背景技術

包括空穴注入電極、電子注入電極、設置在它們之間的有機發光層的有機發光二極管(OLED)顯示裝置為自發光類型的顯示裝置，所述裝置在自陽極注入的空穴和自陰極注入的電子湮滅時發光，所述湮滅是由于空穴和電子在有機發光層中的再結合而造成的。此外，有機發光二極管(OLED)顯示裝置呈現高質量特性，例如更低的能耗、更高的亮度、更寬的視角和更高的反應速度，因而已經作為便攜電子裝置的下一代顯示裝置而被關注。

有機發光二極管(OLED)顯示裝置包括有機發光顯示面板，所述有機發光顯示面板包括其上形成薄膜晶體管和有機發光元件(OLED)的顯示基板。所述有機發光元件包括陽極、陰極和有機發光層，并通過由分別從陽極和陰極注出的空穴和電子形成激子并使激子遷移至基態而發光。

在例如有機發光二極管(OLED)顯示裝置的平板顯示裝置中，在真空條件下使用用于沉積相應的材料，例如用作電極的有機材料或金屬的真空沉積方法，以在平板上形成薄膜。通過在真空室內部放置其上形成有機薄膜的基板，并通過用沉積源單元蒸發或升華有機材料以便在所述基板上沉積，而進行真空沉積方法。

通過在基板上對準和貼附用于沉積的掩模，并進行控制以通過開放區域在基板上沉積用于形成蒸發的圖案的材料而進行沉積過程，用于沉積的掩模包括與將在基板上形成的預定圖案相對應的開放區域。在沉積過程中，在基板上無偏差地準確對準和貼附用于沉積的掩模是重要的。

然而，當所述基板為透明基板時，由于在通過測量裝置進行測量時從掩模表面反射的光，對準的掩模之間，具體為角度對準標記(angle?alignment?mark)和基板（以及掩模）之間的對比差異小，因而難于確定所述角度對準標記的位置。

該背景部分公開的信息僅用于增強對所描述的技術的背景理解，因而可包含未形成為在這個國家中本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發明內容

本發明的一個方面提供了用于沉積的掩模和對準它的方法，所述方法能夠防止在基板和掩模間產生的對準偏差。

本發明的另一個方面提供了用于沉積的掩模和對準它的方法，所述方法能夠增加形成在基板和掩模上的對準標記的識別率。

本發明的實施方式提供了用于在透明基板上形成圖案的用于沉積的掩模，所述掩模包括：具有掩模對準標記的掩模元件，所述掩模對準標記貫穿地形成，以便與在所述透明基板上形成的基板對準標記對準；和不平整區域，所述不平整區域形成在所述掩模元件的一個表面上，以鄰近所述掩模對準標記，所述不平整區域在它的表面上具有突起和凹陷。

所述不平整區域可漫反射入射光。

所述不平整區域可涂布有漫反射材料。

可所述不平整區域可以低于用于沉積的所述掩模的一個表面的高度形成。

所述不平整區域可通過半蝕法形成。

所述用于沉積的掩?？蛇M一步包括在所述掩模對準標記和所述不平整區域之間形成的平坦區域，所述平坦區域具有平坦表面。

可沿所述掩模對準標記的邊緣形成所述平坦區域。

所述平坦區域可反射入射光。

所述平坦區域可涂布有光反射材料。

本發明的另一個實施方式提供了對準掩模的方法，包括步驟：制備透明基板，所述透明基板具有在透明基板的一個表面上形成的基板對準標記及鄰近所述基板對準標記的角度對準標記；在所述透明基板上放置用于沉積的掩模，所述掩模包括具有掩模對準標記的掩模元件和不平整區域，所述掩模對準標記貫穿地形成以便對準在所述透明基板上形成的基板對準標記，所述不平整區域形成在所述掩模元件的一個表面上以鄰近所述掩模對準標記，所述不平整區域在它的表面上具有突起和凹陷，所述不平整區域面向所述透明基板；將所述基板對準標記和所述掩模對準標記在預定的位置對準；和對準所述角度對準標記，以使所述角度對準標記在與所述不平整區域重疊的同時被放置在預定的位置。

在對準所述位置或對準所述角度的步驟中，在通過面向所述不平整區域放置的測量裝置測量對準狀態后，可調節所述透明基板或用于沉積的所述掩模的對準位置。

所述測量裝置可為安裝有CCD相機的測量裝置。

根據本發明的實施方式，可通過增加形成在所述基板和所述掩模上的對準標記的識別率來防止發生掩模的對準偏差。

結果，可通過降低有機發光二極管(OLED)顯示裝置的次品率而降低制造成本。