[發(fā)明專利]大型閘板閥

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310321335.9
• 申請日: 2013-07-23
• 公開（公告）號: CN104344001A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發(fā)明（設計）人: 苑玉坤
• 申請（專利權）人: 苑玉坤
• 主分類號: F16K3/30
• 分類號: F16K3/30;F16K27/04;F16K31/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、技術領域

大型閘板閥屬于真空技術領域，

2、背景技術

目前一般大型平板真空膜生產(chǎn)線濺射腔室之間是連通的，沒有隔離機構。一條生產(chǎn)線有幾個到10個濺射室，其中一個腔室維修或更換靶材，其他所有濺射室都一同放入大氣。維修結束后所有濺射室重新工作前都要抽氣，抽到10-5Pa才能重新工作，由于一同給多個濺射室抽氣，抽氣用的時間較長。降低了生產(chǎn)效率，浪費了能源。目前國內沒有一種有效方法解決這個問題。

3、發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是提供一種在兩個濺射室之間的起隔離作用的大型閘板閥。其特征在于：由四部分組成：一、提升機構，它由電動推桿(或慢速氣缸)(1)加提升絲杠組成(13)，另外有磁流體密封機構，真空密封圈和焊接波紋管(2)等在提升和靜止情況下提供密封。壓縮空氣管路，真空管路(3)(圖示：壓縮空氣和真空共用管路)，二、殼體，它由上閥體(4)，下閥體(5)，密封膠圈(6)等組成。三、門板系統(tǒng)，它由門板(7)，密封圈(8)，波紋管夾緊模塊(9)，懸掛軸(14)等組成。控制系統(tǒng)，它由行程開關(10)，接近開關(11)，兩位三通閥(12)和PLC控制系統(tǒng)等組成。

4、附圖說明

圖1是大型閘板閥示意圖。(1)電動推桿、(2)焊接波紋管、(3)管路、(4)上閥體、(5)下閥體、(6)密封膠圈、(7)門板、(8)密封圈、(9)波紋管夾緊模塊、(10)行程開關、(11)接近開關、(12)兩位三通閥、(13)提升絲杠、(14)懸掛軸。

5、具體實施方式

實施例1見圖1一種在兩個濺射室之間的起隔離作用的大型閘板閥。其特征在于：由四部分組成：一、提升機構，它由電動推桿(或慢速氣缸)(1)加提升絲杠組成(13)，另外有磁流體密封機構，真空密封圈和焊接波紋管(2)等在提升和靜止情況下提供密封。壓縮空氣管路，真空管路(3)(圖示：壓縮空氣和真空共用管路)，二、殼體，它由上閥體(4)，下閥體(5)，密封膠圈(6)等組成。三、門板系統(tǒng)，它由門板(7)，密封圈(8)，波紋管夾緊模塊(9)，懸掛軸(14)等組成。控制系統(tǒng)，它由行程開關(10)，接近開關(11)，兩位三通閥(12)和PLC控制系統(tǒng)等組成。

工作過程：當兩個濺射室有隔離需要時：啟動電動推桿(1)，電機推動絲桿(13)旋轉，絲桿下端通過懸掛軸(14)連接著門板系統(tǒng)。絲杠下降，帶動門板系統(tǒng)一同下降。下降到下止點，接近開關(11)起作用，使電機停止旋轉。無論提升機構是動還是靜。磁流體密封機構，真空密封圈，焊接波紋管(2)和殼體都起著密封作用。下止點是預設好的位置。在這個位置接近開關接收到信號通過PLC指令讓電機斷電使電機停轉，(或讓電磁閥換向使氣缸停止運動)。波紋管夾緊模塊(9)通入壓縮空氣，夾緊模塊張開將門板(7)推向兩邊。門板緊緊貼在下閥體內壁上。有效的將兩個濺射室隔離。門板推開過程：兩位三通閥(12)換向將壓縮空氣接通。壓縮空氣經(jīng)壓縮空氣管路、絲杠中開的通氣孔，進入門板之間的波紋管夾緊模塊。夾緊模塊在壓縮空氣的推動下將兩個門板向兩邊撐開。將門板頂在閥體內壁上，門板上的密封圈(8)起著有效的密封作用，將兩個濺射室徹底隔離開。在張開門板后大型閘板閥內部通入大氣。普通的空氣，壓力是一個大氣壓。這個大氣壓起著加強隔離的作用。因為它向保持真空的濺射室出口處的門板提供了一個大氣壓的壓力。當濺射室維修結束時。該濺射室封閉，開始抽真空。同時線性閉鎖閥內部抽真空。當線性閉鎖閥內部和維修后的濺射室，還有剛剛隔離的濺射室壓力相同時。兩位三通閥換向將通入的壓縮空氣卸載，波紋管夾緊模塊收縮，帶動門板向中間移動。門板就離開閥體內壁了，濺射室之間連通了。再使兩位三通閥換向將波紋管夾緊模塊內部抽真空。目的是波紋管夾緊模塊內的壓力與閥體內的壓力接近。夾緊模塊回位彈簧起作用。讓門板回復原位。門板復位后門板最外端與腔室內壁有5mm以上的距離，上下移動門板時不會磕碰到閥體內壁。開動電動推桿。電機帶動絲杠提升門板系統(tǒng)。當門板上升到上止點時，接近開關接收到信號，PLC控制系統(tǒng)發(fā)出信號。使電機停止轉動。門板停止運動。

6、有益效果

它的主要功能是隔離并封閉兩個相鄰的真空濺射室，以允許其中一個或兩個放入大氣，打開進行維修或更換靶材。隔離的另一部分濺射腔室能短時間或長時間保持真空狀態(tài)。維修好的濺射室工作前只需要單獨抽氣。這樣抽氣的時間大大縮短。較原來全部腔室抽氣的時間減少一半以上。這樣可以提高設備的有效工作時間。降低真空泵組的功率。達到節(jié)約社會資源的目的。