[發明專利]TFT玻璃基板單面蝕刻的方法

無效

• 申請號: 201310312200.6
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN103359949A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 阮軍;舒滔
• 申請（專利權）人: 惠晶顯示科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 張家港市高松專利事務所(普通合伙) 32209
• 代理人: 孫高

技術領域

本發明涉及到玻璃蝕刻的技術領域，特別是指一種TFT玻璃基板單面蝕刻的方法。

背景技術

OLED是一種極具發展前景的平板顯示技術，它具有十分優異的顯示性能，特別是自發光、結構簡單、超輕薄、響應速度快、寬視角、低功耗及可實現柔性顯示等特性，被譽為“夢幻顯示器”，再加上其生產設備投資遠小于TFT-LCD，得到了各大顯示器廠家的青睞，已成為顯示技術領域中第三代顯示器件的主力軍。

出于OLED顯示器追求輕薄短小的原則，現有OLED顯示器都使用雙面同樣厚度的玻璃基板薄化后使用，但是如果顯示器玻璃基底過薄，會影響OLED顯示器的強度；如果顯示器顯示面過厚，會影響OLED顯示器的顯色效果。現有趨勢是使用單面蝕刻的技術，將不需要薄化的玻璃基底使用耐酸膜保護起來，而顯示面可以蝕刻到任意的目標厚度。

現單面蝕刻主要有兩個研究方向，一個在玻璃基底表面絲印耐酸油墨，然后進行蝕刻，此方法由于油墨表面存在不可避免的空隙，造成玻璃表面被刻蝕，形成點狀不良；另一個方法為在液晶玻璃基板1表面貼合耐酸膜2，如圖2所示，但是主要的問題是蝕刻過程中玻璃基底側向蝕刻，酸液會滲入到玻璃基底和耐酸膜2中間，導致邊緣過蝕刻。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種能有效解決現有技術中液晶玻璃基板單面薄化過程中邊緣漏液的問題的TFT玻璃基板單面蝕刻的方法。

為解決上述問題，本發明采用的技術方案是：TFT玻璃基板單面蝕刻的方法，包括如下步驟：a、將需要單面薄化的液晶玻璃基板進行清洗烘干處理；b、將需要保護的液晶玻璃基板面進行貼耐酸膜保護；c、將液晶玻璃基板和耐酸膜的夾縫之間點耐酸紫外線膠水，并使用紫外線進行照射，將膠水固化；d、采用蝕刻裝置將處理過的液晶玻璃基板進行蝕刻處理；e、將單面蝕刻后的液晶玻璃基板邊緣的紫外線膠使用對應特定溶液清洗掉；f、將液晶玻璃基板進行脫耐酸膜處理；g、將脫膜后的液晶玻璃基板清洗干凈。

本發明的有益效果是：本發明使用一種耐酸膜貼合在需要保護的玻璃基底表面，同時使用一種特殊的耐酸紫外線膠水封閉耐酸膜和玻璃基底之間的間隙；待紫外線膠水固化后進行正常蝕刻，蝕刻完成后使用特殊的溶劑溶解紫外線膠水，脫膜后可得到合格的產品。

附圖說明

圖1是本發明的示意圖；

圖2的背景技術中所述的目前單面蝕刻的方法示意圖；

圖中：1、液晶玻璃基板，2、耐酸膜，3、紫外線膠水。

具體實施方式

下面通過具體實施例對本發明所述的TFT玻璃基板單面蝕刻的方法作進一步的詳細描述。

如圖1所示，TFT玻璃基板單面蝕刻的方法，包括如下步驟：a、將需要單面薄化的液晶玻璃基板1進行清洗烘干處理；b、將需要保護的液晶玻璃基板1面進行貼耐酸膜2保護；c、將液晶玻璃基板1和耐酸膜2的夾縫之間點耐酸紫外線膠水3，并使用紫外線進行照射，將膠水固化；d、采用蝕刻裝置將處理過的液晶玻璃基板1進行蝕刻處理；e、將單面蝕刻后的液晶玻璃基板1邊緣的紫外線膠水3使用對應特定溶液清洗掉；f、將液晶玻璃基板1進行脫耐酸膜2處理；g、將脫膜后的液晶玻璃基板1清洗干凈。

利用本發明方法加工液晶玻璃基板可以有效解決現有技術中液晶玻璃基板單面薄化過程中邊緣漏液的問題，該方法同樣適用于其他需要單面蝕刻的玻璃。

上述的實施例僅例示性說明本發明創造的原理及其功效，以及部分運用的實施例，而非用于限制本發明；應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明創造構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。