[發明專利]一種改進型擴散爐尾氣排放裝置

有效

• 申請號: 201310310760.8
• 申請日: 2013-07-23
• 公開（公告）號: CN103374757A
• 公開（公告）日: 2013-10-30
• 發明（設計）人: 范志東;馬繼奎;湯歡
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B31/16
• 分類號: C30B31/16
• 代理公司: 石家莊國為知識產權事務所 13120
• 代理人: 陸林生

技術領域

本發明涉及半導體器件制備技術領域。

背景技術

太陽能晶硅電池生產的主要流程包括：制絨、擴散、濕法刻蝕、減反射膜的沉積、絲網印刷和燒結。其中，擴散是PN結制備的主要工序，而PN結又是太陽能電池的核心結構，且PN結的質量好壞對太陽晶硅電池的轉換效率有著重要的影響。方塊電阻的均勻性是衡量PN結質量好壞的一個表征，而方塊電阻的均勻性與石英爐管內氣流的恒定與否有著很大的關系，因此如何減小設備外圍氣體的波動對石英爐管內氣流的影響是十分必要的。

目前擴散爐廢氣排放裝置的結構如圖1所示，其主要包括氣體緩沖瓶和排風設備，氣體緩沖瓶的一端與擴散爐的石英管相連接，其另一端與排風設備相連接，在石英管上設有壓力監測設備，在氣體緩沖瓶上設有氮氣補償設備，壓力監測設備與氮氣補償設備之間單向連接。廢氣排放裝置的工作過程為：石英管中產生的廢氣通過排風設備被抽出，廢氣首先經過氣體緩沖瓶再由排風設備排出。如果生產過程中排風設備中的氣體產生波動，就會導致石英管內的氣體發生變化，進而使得石英管的氣體壓力發生變化；壓力監測裝置監測到此變化信息之后，就會通知氮氣補償設備使其對氣體緩沖瓶進行“氮氣補償”，以調整排風設備中的氣壓，進而使得石英管內的氣壓穩定為某一恒定值。

通過上述可知，現有裝置是排風設備發生氣體波動再傳導至石英管后壓力測試監測到才會啟動氮氣補償，很顯然，氮氣的補償是滯后的，是石英管內氣體已經產生波動才會發生的后續補償調整，以維持石英爐管中的氣壓為恒定值。因此，現有裝置的連接方式不利于保證生產過程中石英管內氣流從始至終的穩定性。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種改進型擴散爐尾氣排放裝置，該裝置可以減小或避免排風設備內氣體波動對擴散爐中石英管內氣流穩定性的影響，進而保障擴散工藝穩定運行，避免因為排風設備的波動影響擴散方塊電阻的均勻性。

為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案為：一種改進型擴散爐尾氣排放裝置，包括第一氣體緩沖瓶、排風設備以及壓力監測設備和氮氣補償設備，所述壓力監測設備與氮氣補償設備之間單向連接，所述第一氣體緩沖瓶的一端與擴散爐石英管相連接，第一氣體緩沖瓶的另一端經由依次順序連接的第二氣體緩沖瓶，…，第N氣體緩沖瓶之后與排風設備相連接，其中N＞2，各氣體緩沖瓶之間、氣體緩沖瓶與排風設備之間均通過連接管相連接；所述氮氣補償設備設于任一氣體緩沖瓶上，所述壓力監測設備設于氮氣補償設備所在的氣體緩沖瓶之后的任一氣體緩沖瓶上或氣體緩沖瓶之間的連接管上。?

所述第一氣體緩沖瓶經由第二氣體緩沖瓶后與排風設備相連接，所述氮氣補償設備設于第一氣體緩沖瓶上，所述壓力監測設備設于第一氣體緩沖瓶與第二氣體緩沖瓶之間的連接管上。

所述第一氣體緩沖瓶經由第二氣體緩沖瓶后與排風設備相連接，所述氮氣補償設備設于第一氣體緩沖瓶上，所述壓力監測設備設于第二氣體緩沖瓶上。

所述第一氣體緩沖瓶經由順序連接的第二氣體緩沖瓶和第三氣體緩沖瓶后與排風設備相連接。

所述氮氣補償裝置設于第一氣體緩沖瓶上，所述壓力監測設備設于第一氣體緩沖瓶與第二氣體緩沖瓶之間的連接管上或設于第二氣體緩沖瓶上。

所述氮氣補償裝置設于第二氣體緩沖瓶上，所述壓力監測設備設于第二氣體緩沖瓶與第三氣體緩沖瓶之間的連接管上或設于第三氣體緩沖瓶上。

采用上述技術方案取得的技術進步為：本發明在原有設備的基礎上，增加了氣體緩沖瓶的數量，調整了壓力監測裝置的位置，使壓力監測設備距離石英管的距離大于氮氣補償設備距離石英管的距離，這樣排風設備的氣體波動首先影響到氣體緩沖瓶，壓力監測設備監測到之后，馬上啟動氮氣補償設備，氣體的波動會在氣體緩沖瓶中得到緩解，避免直接波及石英管內的氣流；如此連接后，氣體補償不再滯后，可以直接降低排風設備的波動對石英管內氣流的影響，更有利于維持石英管內氣流穩定性，達到保障擴散石英管內氣流的恒壓的目的，增加工藝的穩定和重復性，保證了方塊電阻的均勻性和PN結的質量。

附圖說明

圖1為現有廢氣排放裝置的結構示意圖；

圖2為本發明的結構示意圖；

圖3為本發明實施例1的結構示意圖；

圖4為本發明實施例2的結構示意圖；

圖5為本發明實施例3的結構示意圖；

圖6為本發明實施例4的結構示意圖。

具體實施方式