[發明專利]一種LCOS微顯示器件液晶盒結構及其制造方法

有效

• 申請號: 201310309665.6
• 申請日: 2013-07-22
• 公開（公告）號: CN104330909B
• 公開（公告）日: 2017-04-19
• 發明（設計）人: 邢彥文;馬仁祥;付敏恭;李傳南;姚正鋼;付夢雨
• 申請（專利權）人: 上海長城計算機網絡工程有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G02F1/1339
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司31225
• 代理人: 宣慧蘭

1.一種LCOS微顯示器件液晶盒結構，其特征在于，所述的液晶盒結構呈層狀結構，包括上電極層、液晶材料層、納米柱以及硅基襯底層，所述的硅基襯底層位于下層，上電極層位于上層，液晶材料層和納米柱位于中層，通過改變納米柱的高度調節液晶盒的厚度，所述的上電極層為石墨烯膜平板玻璃，所述的納米柱為氧化鋅或者二氧化鈦納米柱。

2.根據權利要求1所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒結構，其特征在于，所述的液晶材料層為高溫反射式液晶，即耐受溫度上限高于60度的反射式液晶。

3.一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

A)制備硅基襯底層；

B)在硅基襯底層上制備納米柱，得到帶有納米柱的硅基襯底層，所述的納米柱為氧化鋅納米柱或者二氧化鈦納米柱；

C)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層對接，組裝成液晶盒；

D)在液晶盒內灌注液晶材料，形成液晶材料層。

4.根據權利要求3所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，步驟A)具體包括以下步驟：

A1)在單晶硅基片上制成X-Y像素矩陣下的有源矩陣、驅動電路、信號電路；

A2)制作遮光層；

A3)制作平坦化層；

A4)像素矩陣表面化學拋光；

A5)像素矩陣表面蒸鍍反光層。

5.根據權利要求3所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，步驟B)具體包括以下步驟：

B1)采用氧化鋅或者二氧化鈦納米材料通過納米膜生成設備在硅基襯底層上制備納米膜；

B2)使用旋涂光刻工藝，將在硅基襯底層上的納米膜刻蝕出器件所需要的納米柱，隨后清除納米柱位置以外納米膜。

6.根據權利要求3所述的一種LCOS微顯示器件液晶盒的制造方法，其特征在于，步驟C)具體包括以下步驟：

C1)獲取厚度為0.1mm的平板玻璃；

C2)采用原子沉積和激光脈沖誘導的物理方法，利用石墨烯膜生成設備在平板玻璃上制備石墨烯膜，獲取石墨烯膜平板玻璃；

C3)將石墨烯膜平板玻璃與帶有納米柱的硅基襯底層上下對接，組裝形成液晶盒。