[發(fā)明專利]一種積累氦質(zhì)譜粗漏細漏組合檢測元器件密封性的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310303714.5
• 申請日: 2013-07-18
• 公開（公告）號: CN103411740A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發(fā)明（設計）人: 王庚林;李飛;李寧博
• 申請（專利權）人: 北京市科通電子繼電器總廠有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種積累氦質(zhì)譜粗漏細漏組合檢測元器件密封性的方法，包括步驟S1選擇，其特征在于，根據(jù)被檢件的內(nèi)腔容積和嚴密等級τ_Hemin，選擇檢測的壓氦或預充氦方式，并依據(jù)被檢件內(nèi)腔容積、表面吸附漏率及其去除速度和帶檢測盒時檢漏儀的漏率本底，選擇粗漏檢測的測量漏率判據(jù)R_0max：

對高嚴密等級（τ_Hemin=2000d）或較高嚴密等級（τ_Hemin=200d）的組合檢測，當被檢件內(nèi)腔容積≥0.06cm³時，初次檢測優(yōu)先選擇壓氦法，再次檢測選擇多次壓氦法；當被檢件內(nèi)腔容積≤0.6cm³時，初次檢測優(yōu)先選擇預充氦法，再次檢測選擇預充氦壓氦法；對壓氦法和預充氦法，優(yōu)先選擇固定方案；

對預充氦法和壓氦法固定方案，對微小型被檢件選擇R_0max為1.42×10^-5Pa·cm³/s，對中等或較大被檢件選擇R_0max為1.42×10^-4Pa·cm³/s；對預充氦法和壓氦法靈活方案，對預充氦壓氦法和多次壓氦法，R_0max可在1.42×10^-5Pa·cm³/s～1.42×10^-4Pa·cm³/s間選擇。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種積累氦質(zhì)譜粗漏細漏組合檢測元器件密封性的方法，包括步驟S2設計，其特征在于，針對S1所選擇的方法、方案和R_0max，設計確定再壓氦的壓氦時間t_1.n、細漏檢測的最長候檢時間t_max和測量漏率判據(jù)R_max：

對初次檢漏的壓氦法，t_max為t_2max，R_max為R_1max；對初次檢漏的預充氦法，t_max為t_3max，R_max為R_2max；對n（n≥2）次壓氦的多次壓氦法，t_max為t_2n.max，R_max為R_1n.max；對n（n≥1）次壓氦的預充氦壓氦法，t_max為t_3n..max，R_max為R_2n.max；

并取粗漏氦氣交換時間常數(shù)τ_He0：

τHe0=VPHe0R0max···(1)]]>

其中，V為內(nèi)腔容積，P_He0為空氣中的氦氣分氣壓，P_He0=0.533Pa；

對壓氦法，當τ_Hemin＞τ_He0時，t_2max通過公式（2.1）得到并受限于R_1max＜R_0max：

t2max=τHeminτHe0τHemin-τHe0{ln(τHeminτHe0)+ln[1-exp(-t1τHe0)1-exp(-t1τHemin)]}···(2.1)]]>

其中，t₁為被檢件壓氦時間；對壓氦法固定方案，τ_He0為對應內(nèi)腔容積分段中最小容積的τ_He0；

對壓氦法固定方案，取τ_Hemin為2000d或200d，t_2max還應符合公式（2.2）的規(guī)定：

t_2max≤1/10τ_Hemin………………………………··………………………····（2.2）

對壓氦法靈活方案，τ_Hemin在需要和可行的大于τ_He0范圍靈活取值；

對壓氦法固定方案，以t₁≤（1/5）τ_Hemin、候檢時間t₂≤t_2max為條件，R_1max通過公式（3）得到：

R1max=V1PEt1τHemin2R1max<R0max···(3)]]>

其中，V₁為被檢件的內(nèi)腔容積分段中的最小內(nèi)腔容積，P_E為壓氦的壓力；

對壓氦法靈活方案，R_1max通過公式（4）得到：

R1max=VPEτHemin[1-exp(-t1τHemin)]exp(-t2τHemin)R1max<R0max···(4)]]>

其中，V為被檢件的內(nèi)腔容積，t₂為實際的候檢時間，且t₂應不大于公式（2.1）中規(guī)定的t_2max；

對多次壓氦法的n（n≥2）次再壓氦，其壓氦時間t_1.n通過公式（5）得到：

t1.n≥1e21PE.nΣi=1n-1PE.it1.i···(5)]]>

其中，P_E.i和t_1.i為第i次壓氦壓力和壓氦時間；

當多次壓氦法n次壓氦時間t_1.n滿足公式（5）時，n次壓氦后的最長候檢時間t_2n.max近似通過公式（6）得到，并受R_1n.max＜R_0max的限制：

t2n.max=τHeminτHe0τHemin-τHe0ln(τHeminτHe0)···(6)]]>

n次壓氦后的細漏檢測測量漏率判據(jù)R_1n.max通過公式（7）得到：

R1n.max=VτHeminexp(-t2.nτHemin)Σi=1nPE.i[1-exp(-t1.iτHemin)]exp(-t2.inτHemin)R1n.max<R0max···(7)]]>

其中，t_2.n為第n次壓氦后的候檢時間，t_2.n不得大于公式（6）中的t_2n.max，t_2.in為i次壓氦結束至n次壓氦結束的時間間隔；

對預充氦法，當τ_Hemin＞τ_He0時，t_3max通過公式（8.1）得到，并受限于R_2max＜R_0max：

t3max=τHeminτHe0τHemin-τHe0ln(τHeminτHe0)···(8.1)]]>

對預充氦法固定方案，取τ_Hemin為2000d或200d，t_3max還應符合公式（8.2）的規(guī)定：

t_3max≤1/10τ_Hemin………………………………………………………··（8.2）

對預充氦法靈活方案，τ_Hemin在需要和可行的大于τ_He0范圍靈活取值；

對預充氦法固定方案，以候檢時間t₃≤t_3max為條件，R_2max通過公式（9）得到：

R2max=V1kP0τHeminR2max<R0max···(9)]]>

其中，k為預充氣體中氦氣分氣壓與P₀之比——預充氦比，P₀為標準大氣壓，對預充氦固定方案，取k=0.1或k=0.5；

對預充氦法靈活方案，R_2max通過公式（10）得到：

R2max=VkP0τHeminexp(-t3τHemin)R2max<R0max···(10)]]>

其中，k為實際的預充氦比，k可在0.03～1之間選擇；t₃為實際的候檢時間，但t₃應不大于公式（8.1）中規(guī)定的t_3max；

對預充氦壓氦法的n(n≥1)次再壓氦，其壓氦時間t_1.n通過公式（11）得到：

t1.n≥1e1PE.n(110kP0t3.0n+1eΣi=0n-1PE.it1.i)t1.n≥1.2h···(11)]]>

其中，t_3.0n為預充氦密封結束至n次壓氦結束的時間間隔；

當預充氦壓氦法n次壓氦時間t_1.n滿足公式（11）時，n次壓氦后的最長候檢時間t_2n.max近似通過公式（6）得到，并受R_2n.max＜R_0max的限制；

n次壓氦后的測量漏率判據(jù)R_2n.max通過公式（12）得到：

R2n.max=VτHeminexp(-t2.nτHemin){kP0exp(-t3.0nτHe)+Σi=1nPE.i[1-exp(-t1.iτHemin)]exp(-t2.inτHemin)}R2n.max≤R0max···(12)]]>

其中，t_2.n不得大于公式（6）中的t_2n.max。