[發明專利]剝離裝置和包括剝離裝置的熱成像系統

有效

• 申請號: 201310286878.1
• 申請日: 2013-07-09
• 公開（公告）號: CN103545461B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 安耿顯;樸鎮翰;金東述;李炳哲
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 余朦,姚志遠

1.一種剝離裝置，包括：

平臺，安裝有下支承件、受體襯底、供體膜，其中所述受體襯底設置在所述下支承件上，所述供體膜沿所述受體襯底的邊緣與所述下支承件層壓，使得所述受體襯底位于所述供體膜與所述下支承件之間；

第一夾持器，設置在所述平臺的端側以通過夾持所述供體膜的端部來使所述供體膜的端部朝遠離所述受體襯底的方向移動；以及

第一剝離輥，設置在所述供體膜上以支承設置在所述受體襯底與所述第一夾持器之間的供體膜并且朝所述第一夾持器的方向自體旋轉。

2.根據權利要求1所述的剝離裝置，其中所述第一剝離輥包括：

固定軸，空氣穿過所述固定軸，所述固定軸包括第一縫，所述第一縫從所述固定軸的內部朝所述受體襯底與所述第一夾持器之間的方向穿透；

外卷筒，圍繞所述固定軸，所述外卷筒相對于所述固定軸自體旋轉并包括多個第二縫，所述多個第二縫沿外部設置并朝所述固定軸的方向穿透；以及

阻擋層，由所述固定軸支承且設置在所述固定軸與所述外卷筒之間，并且朝所述受體襯底與所述第一夾持器之間的方向開口。

3.根據權利要求2所述的剝離裝置，其中所述阻擋層開放所述固定軸的整個外部的1/4區域。

4.根據權利要求2所述的剝離裝置，其中所述空氣從所述第一縫移動到所述第二縫。

5.根據權利要求2所述的剝離裝置，其中所述空氣從所述第二縫移動到所述第一縫。

6.根據權利要求2所述的剝離裝置，其中所述第一剝離輥還包括圍繞所述外卷筒的覆蓋層。

7.根據權利要求6所述的剝離裝置，其中所述覆蓋層包括：

第一子覆蓋層，被設置為與所述供體膜的端部相對應并且阻擋所述第二縫；

第二子覆蓋層，被設置為與所述第一子覆蓋層相鄰并與所述供體膜的與所述下支承件層壓的部分相對應，所述第二子覆蓋層包括多個第一穿透孔；以及

第三子覆蓋層，被設置為與所述第二子覆蓋層相鄰并與所述受體襯底相對應，所述第三子覆蓋層包括尺寸小于所述第一穿透孔的多個第二穿透孔。

8.根據權利要求1所述的剝離裝置，還包括第一支承輥，所述第一支承輥被設置為與所述第一剝離輥相對，使得所述供體膜位于所述第一支承輥與所述第一剝離輥之間。

9.根據權利要求1所述的剝離裝置，還包括：

第二夾持器，設置在所述平臺的端側以夾持所述下支承件的端部，并朝遠離所述受體襯底的方向移動所述下支承件的所述端部；以及

第二剝離輥，設置在所述下支承件上以支承設置在所述受體襯底與所述第二夾持器之間的下支承件并且朝所述第二夾持器的方向自體旋轉。

10.根據權利要求9所述的剝離裝置，還包括第二支承輥，所述第二支承輥被設置為與所述第二剝離輥相對，使得所述下支承件位于所述第二支承輥與所述第二剝離輥之間。

11.一種熱成像系統，包括：

剝離裝置，包括：

平臺，安裝有下支承件、受體襯底、供體膜，其中所述受體襯底設置在所述下支承件上，所述供體膜沿所述受體襯底的邊緣與所述下支承件層壓，使得所述受體襯底位于所述供體膜與所述下支承件之間；

第一夾持器，設置在所述平臺的端側以通過夾持所述供體膜的端部來使所述供體膜的端部朝遠離所述受體襯底的方向移動；以及

第一剝離輥，設置在所述供體膜上以支承設置在所述受體襯底與所述第一夾持器之間的供體膜并且朝向所述第一夾持器的方向自體旋轉；

所述直入式熱成像系統還包括：

轉移裝置，與所述剝離裝置相鄰并且包括激光單元，所述激光單元將激光照射至與所述受體膜相對應的所述供體膜；

層壓裝置，與所述轉移裝置相鄰并且包括層壓單元，所述層壓單元將所述供體膜層壓至所述下支承件以使所述受體襯底位于所述供體膜與所述下支承件之間；以及

平臺移動裝置，將所述平臺分別移動至所述層壓裝置、所述轉移裝置和所述剝離裝置。