[發明專利]基板輸送裝置及基板輸送裝置中的異物檢測方法

無效

• 申請號: 201310285517.5
• 申請日: 2013-07-09
• 公開（公告）號: CN103538359A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 大川浩二;末安佑介;香月隆
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: B41F15/14
• 分類號: B41F15/14;H05K13/04
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 劉曉迪

1.一種基板輸送裝置，其通過一對輸送傳送帶從下方支承基板的寬度方向的兩端部而將所述基板輸送到規定的作業位置，其特征在于，具備：

一對傳送帶支承部件，其支承所述一對輸送傳送帶；

一對基體部，其分別保持所述一對傳送帶支承部件使其在所述一對傳送帶支承部件彼此接近的第一位置與所述一對傳送帶支承部件彼此遠離的第二位置之間自如地移動；

一對夾持部件，其相對于所述一對基體部在與所述一對輸送傳送帶對基板輸送的輸送方向垂直的方向自如移動地設置，通過使所述一對傳送帶支承部件均位于所述第一位置，對輸送到所述規定的作業位置的基板從該基板的寬度方向進行夾持；

基板中央部支承部件，其對被所述一對夾持部件夾持的狀態的基板的下面中央部進行支承；

一對基板端部支承部件，其通過所述一對傳送帶支承部件沿上下方向移動自如地被支承；

傳送帶支承部件移動機構，其在基板被所述一對夾持支承部件夾持的狀態下，通過使所述一對傳送帶支承部件分別從所述第一位置向所述第二位置移動，解除所述一對輸送傳送帶對基板的輸送支承狀態，使所述一對基板端部支承部件位于基板的寬度方向的兩端部的下方；

間隔調整機構，其在開始所述一對輸送傳送帶對基板的輸送之前，在使所述一對基體部中的至少一方向從所述基板中央部支承部件離開的方向移動之后，通過使該基體部向接近所述基板中央部支承部件的方向即橫寬接近方向移動，以使所述一對輸送傳送帶的間隔成為對應于基板的寬度方向的尺寸的間隔的方式進行調整；

異物檢測傳感器，其固定設于通過所述間隔調整機構而相對于所述基板中央部支承部件遠離及接近的可動側的基體部，在通過所述間隔調整機構使所述可動側的基體部向所述橫寬接近方向移動時，在與所述可動側的基體部一同移動的所述基板端部支承部件的一側即設有所述基板中央部支承部件側的區域，將檢查光向基板輸送方向投射，通過檢測該檢查光的遮光狀態，進行在所述可動側的基體部的行進方向存在的異物的檢測，

在通過所述間隔調整機構使所述可動側的基體部向所述橫寬接近方向移動時，通過所述傳送帶支承部件移動機構而使與所述可動側的基體部一同移動的傳送帶支承部件位于所述第二位置。

2.一種基板輸送裝置中的異物檢測方法，對權利要求1所述的基板輸送裝置中的異物進行檢測，其特征在于，

在使可動側的基體部向接近基板中央部支承部件的方向即橫寬接近方向移動時，使與所述可動側的基體部一同移動的傳送帶支承部件位于第二位置，在該狀態下，一邊使所述可動側的基體部向所述橫寬接近方向移動一邊進行所述異物檢測傳感器對異物的檢測。