[發(fā)明專利]一種通用硬件測試系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310284625.0
• 申請日: 2013-07-08
• 公開（公告）號: CN104280674B
• 公開（公告）日: 2017-09-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈景山;呂文波
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳伊歐陸微電子系統(tǒng)有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京市百倫律師事務(wù)所11433
• 代理人: 周紅力,姜瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明總體上涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地，涉及對硬件參數(shù)進(jìn)行測試的領(lǐng)域。

背景技術(shù)

硬件設(shè)備，例如半導(dǎo)體測試中硬件測試設(shè)備。半導(dǎo)體晶圓通常需要進(jìn)行嚴(yán)格的測試。晶圓測試是對晶片上的每個晶粒進(jìn)行針測，在檢測頭裝上以金線制成細(xì)如毛發(fā)的探針（probe），與晶粒上的接點（pad）接觸，通過硬件設(shè)備測試其電氣，光學(xué)，機械等物理化學(xué)特性，不合格的晶粒會被標(biāo)上記號，而后當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨立的晶粒時，標(biāo)有記號的不合格晶粒會被淘汰，不再進(jìn)行下一個制程，以免徒增制造成本。

不同的硬件設(shè)備、晶圓通常具有不同的參數(shù)，例如，不同廠商生產(chǎn)出的相同類型的晶圓常常會表現(xiàn)出不同的性能，甚至同一廠商生產(chǎn)的同一批晶圓也可能存在差異。同樣，不同廠商生產(chǎn)出的相同類型的硬件測試設(shè)備，甚至同一廠商生產(chǎn)的同一系列硬件測試設(shè)備也存在著差異。

在傳統(tǒng)的晶圓測試中，通常需要針對不同的硬件測試設(shè)備。晶圓來開發(fā)出不同的測試系統(tǒng)，而由于硬件測試設(shè)備和晶圓的差異性非常巨大，所以開發(fā)出不同的測試系統(tǒng)將是一件非常耗時且容易出錯的工作，由此也將使得測試者的效率低下，并且費用昂貴，同時也制約了新型晶圓的開發(fā)和研究。

此外，即使不同硬件測試設(shè)備，晶圓存在著差異，但其也有著相同之處。對于這些相同之處，測試人員也需要再次對測試系統(tǒng)進(jìn)行開發(fā)，從而導(dǎo)致了很多重復(fù)工作。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的至少在于克服現(xiàn)有技術(shù)中硬件設(shè)備測試的繁瑣、效率低下以及重復(fù)開發(fā)等問題。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供一種通用硬件測試系統(tǒng)，包括：測試信息接收器，配置用于接收待測硬件的信息；硬件參數(shù)數(shù)據(jù)庫，配置用于存儲待測硬件的輸入?yún)?shù)，所述輸入?yún)?shù)與所述待測硬件的信息相對應(yīng)；硬件協(xié)議庫，配置用于存儲待測硬件的協(xié)議；硬件適配器，配置用于與所述待測硬件連接并根據(jù)存儲在所述硬件協(xié)議庫中的協(xié)議與所述待測硬件進(jìn)行通信；以及測試流控制器，配置用于根據(jù)所述待測硬件的信息來查詢所述硬件參數(shù)數(shù)據(jù)庫以得到所述輸入?yún)?shù)，通過查詢所述硬件協(xié)議庫，來與連接到所述硬件適配器的待測硬件交換數(shù)據(jù)，從而對所述待測硬件進(jìn)行測試，以得到測試結(jié)果。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，其中，所述待測硬件的信息包括待測硬件的名稱，所述待測硬件的名稱對應(yīng)于其相應(yīng)的輸入?yún)?shù)。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，其中，所述待測硬件的信息進(jìn)一步包括測試流程信息，所述測試流程信息用于對所述待測硬件的輸入?yún)?shù)進(jìn)行調(diào)度。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，其中，所述硬件參數(shù)數(shù)據(jù)庫中的輸入?yún)?shù)是可擴展的。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，進(jìn)一步包括：轉(zhuǎn)換器，配置用于在所述待測硬件的信息和所述待測硬件的輸入?yún)?shù)與計算機可執(zhí)行語言之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換，優(yōu)選地，所述計算機可執(zhí)行語言為i語言；編譯器，配置用于將所述計算機可執(zhí)行語言編譯為目標(biāo)程序；以及其中，所述測試流控制器根據(jù)所述目標(biāo)程序，通過查詢所述硬件協(xié)議庫，來對連接到所述硬件適配器的待測硬件進(jìn)行測試。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，進(jìn)一步包括：緩存器，配置用于存儲來自于所述硬件適配器中的測試結(jié)果；讀取器，配置用于讀取所述緩存器中的測試結(jié)果以供呈現(xiàn)。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，進(jìn)一步包括數(shù)據(jù)訪問層接口，配置用于與所述讀取器連接并提供對來自所述讀取器的數(shù)據(jù)進(jìn)行訪問和抽象的接口。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，進(jìn)一步包括下列接口中的至少一個，配置用于與所述數(shù)據(jù)訪問層接口連接并呈現(xiàn)所述測試結(jié)果：顯示接口，配置用于通過顯示器來呈現(xiàn)所述測試結(jié)果；報告接口，配置用于通過報告的形式來呈現(xiàn)所述測試結(jié)果；輸出接口，配置用于直接將所述測試結(jié)果以數(shù)據(jù)的形式輸出；以及插件接口，配置用于以插件兼容的方式來呈現(xiàn)或處理所述測試結(jié)果。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，進(jìn)一步包括路由器，其與所述硬件適配器相連接，配置用于根據(jù)待測硬件的信息對來自和/或去往所述硬件適配器的數(shù)據(jù)進(jìn)行路由。

根據(jù)本發(fā)明的一個實施方式，其中進(jìn)行路由包括通過多條通道對來自和/或去往所述硬件適配器的數(shù)據(jù)進(jìn)行并行傳輸。

本發(fā)明所實現(xiàn)的有益效果至少在于簡化了硬件設(shè)備測試，提高了測試效率，并且降低了重復(fù)開發(fā)的概率。

附圖說明

通過閱讀下文優(yōu)選實施方式的詳細(xì)描述，各種其他的優(yōu)點和益處對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將變得清楚明了。附圖僅用于示出優(yōu)選實施方式的目的，而并不認(rèn)為是對本發(fā)明的限制。在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一個實施方式的硬件測試系統(tǒng)的示意性框圖；