[發明專利]一種高靈敏度的OTFTpH傳感器的制作及pH檢測

有效

• 申請號: 201310282472.6
• 申請日: 2013-07-08
• 公開（公告）號: CN104280443B
• 公開（公告）日: 2017-12-19
• 發明（設計）人: 曾紅娟;謝光忠;蔣亞東
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01N27/414
• 分類號: G01N27/414
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高靈敏度的OTFT pH傳感器的制作方法，其特征在于包括下列步驟：

(1)生長一定厚度的場氧化層；

(2)采用正性光刻膠光刻源、漏區；

(3)留膠磷注入形成源、漏區；

(4)采用正性光刻膠光刻襯底接觸孔；

(5)留膠硼注入；

(6)去膠；

(7)采用正性光刻膠光刻有源區，所述有源區包括柵區、源孔區、漏孔區；

(8)腐蝕SiO2層：

(9)生長一定厚度的柵氧化層；

(10)采用正性光刻膠光刻接觸引線孔區；

(11)濺射一定厚度的金屬鋁；

(12)采用負性光刻膠反刻金屬區，去除部分金屬柵，制得具有開槽柵極的晶體管；

(13)對制備的器件按傳統的半導體工藝進行封裝；

(14)將封裝好的具有開槽柵極的晶體管(TFT)的柵極作為工作電極，一根鉑絲為對電極，飽和甘汞電極為參比電極，放進事先配好的電解液中采用電化學方法在具有開槽柵極的晶體管(TFT)的柵極沉積電子聚合物膜制成有機場效應管晶體管(OTFT)pH傳感器，所述電解液包含電子聚合物單體、鹽和磷酸鹽緩沖溶液。

2.根據權利要求1所述的高靈敏度的OTFT pH傳感器的制作方法，其特征在于：所使用的電子聚合物單體包括噻吩類、苯胺類、吡咯類有機物。

3.一種根據權利要求1-2任一項所述的pH傳感器的驗證方法，其特征在于：對耗盡型的n-溝道的OTFT器件用半導體特性測試儀進行測量時，需先在測試儀器上設置一個測試模型，把器件的源、漏極分別與儀器的SMU1和SMU2相連，器件的柵極、襯底分別與儀器的SMU3和GNDU(地)相連。

4.根據權利要求3所述的高靈敏度的OTFT pH傳感器的驗證方法，其特征在于：把制備的OTFT器件先浸泡在不同pH的緩沖溶液中，然后對溶液pH進行檢測，建立不同pH時的閾值電位關系圖，就可對其靈敏度進行評估。