[發(fā)明專利]固態(tài)成像裝置、制造固態(tài)成像裝置的方法以及電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310280645.0
• 申請日: 2013-07-05
• 公開（公告）號: CN103545329B
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 池田晴美;舘下八州志
• 申請（專利權(quán)）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 焦玉恒

1.一種固態(tài)成像裝置，包括：

半導(dǎo)體基板；

像素，每一個(gè)該像素包括形成在該半導(dǎo)體基板中的光電轉(zhuǎn)換部；

溝槽，形成在該半導(dǎo)體基板中，并且該溝槽分隔相鄰的像素；以及

彩色濾光片，形成在每一個(gè)該像素的該光電轉(zhuǎn)換部之上且埋設(shè)在該溝槽的至少一部分中，

其中當(dāng)相鄰像素的顏色靈敏度具有實(shí)質(zhì)差別時(shí)，與相鄰像素中的低顏色靈敏度的像素具有相同顏色的彩色濾光片埋設(shè)在像素之間的該溝槽中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固態(tài)成像裝置，

其中在具有最高靈敏度顏色的像素與相鄰的其他顏色的像素之間的溝槽中埋設(shè)其他顏色的彩色濾光片。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)成像裝置，

其中像素的顏色陣列是拜耳陣列，并且在綠像素周圍的該溝槽中埋設(shè)具有相鄰像素的顏色的紅色濾光片或藍(lán)色濾光片。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)成像裝置，

其中像素的顏色陣列是清除位陣列，綠色濾光片埋設(shè)在綠像素相鄰的像素之間的溝槽中，并且具有相鄰于該綠像素的像素的顏色的紅色濾光片或藍(lán)色濾光片埋設(shè)在綠像素不相鄰的像素之間的溝槽中。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)成像裝置，

其中像素的顏色陣列包括其上不設(shè)置彩色濾光片的白像素，并且具有相鄰于該白像素的像素的顏色的彩色濾光片埋設(shè)在白像素不相鄰的像素之間的溝槽中。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固態(tài)成像裝置，

其中在具有相同顏色且彼此相鄰的像素之間的溝槽中埋設(shè)相同顏色的彩色濾光片。

7.一種制造固態(tài)成像裝置的方法，包括：

在半導(dǎo)體基板中形成包括在像素中的光電轉(zhuǎn)換部；

在該半導(dǎo)體基板中形成分隔相鄰像素的溝槽；以及

在每一個(gè)該像素的該光電轉(zhuǎn)換部之上形成彩色濾光片，并且在該溝槽的至少一部分中埋設(shè)該彩色濾光片，

其中當(dāng)相鄰像素的顏色靈敏度具有實(shí)質(zhì)差別時(shí)，與相鄰像素中的低顏色靈敏度的像素具有相同顏色的彩色濾光片埋設(shè)在像素之間的該溝槽中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制造固態(tài)成像裝置的方法，

其中該形成彩色濾光片包括：多個(gè)顏色的彩色濾光片中具有最高靈敏度顏色的彩色濾光片在形成各色的該彩色濾光片之后形成。

9.一種電子設(shè)備，包括：

光學(xué)系統(tǒng)；

固態(tài)成像裝置，包括半導(dǎo)體基板、每一個(gè)均包括形成在該半導(dǎo)體基板中的光電轉(zhuǎn)換部的像素、形成在該半導(dǎo)體基板中且分隔相鄰像素的溝槽以及形成在每一個(gè)該像素的該光電轉(zhuǎn)換部之上且埋設(shè)在該溝槽的至少一部分中的彩色濾光片；以及

信號處理電路，處理該固態(tài)成像裝置的輸出信號，

其中當(dāng)相鄰像素的顏色靈敏度具有實(shí)質(zhì)差別時(shí)，與相鄰像素中的低顏色靈敏度的像素具有相同顏色的彩色濾光片埋設(shè)在像素之間的該溝槽中。