[發(fā)明專利]微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310276200.5
• 申請(qǐng)日: 2008-02-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103345128B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 斯蒂芬.澤爾特;關(guān)彥彬;安德拉斯.G.梅杰;曼弗雷德.莫爾;約翰尼斯.艾森門(mén)格;達(dá)米安.菲奧爾卡;簡(jiǎn).霍恩;馬庫(kù)斯.德岡瑟;弗洛里安.巴赫;邁克爾.帕特拉;約翰尼斯.萬(wàn)格勒;邁克爾.萊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所11105
• 代理人: 邱軍

1.一種系統(tǒng)，包括：

a)由可單獨(dú)控制的射束偏轉(zhuǎn)元件組成的布置，所述布置構(gòu)造成為光瞳面可變地照明，其中，每個(gè)射束偏轉(zhuǎn)元件根據(jù)施加到射束偏轉(zhuǎn)元件上的控制信號(hào)偏轉(zhuǎn)入射投射光束，

b)構(gòu)造成產(chǎn)生測(cè)量信號(hào)的測(cè)量裝置，

c)基于模型的狀態(tài)估算器，對(duì)于每個(gè)射束偏轉(zhuǎn)元件，所述狀態(tài)估算器構(gòu)造成利用測(cè)量信號(hào)計(jì)算估計(jì)的狀態(tài)矢量，該狀態(tài)矢量體現(xiàn)由射束偏轉(zhuǎn)元件引起的投射光束的偏轉(zhuǎn)及其時(shí)間導(dǎo)數(shù)，

d)調(diào)節(jié)器，對(duì)于每個(gè)射束偏轉(zhuǎn)元件，所述節(jié)器構(gòu)造成接收從所述基于模型的狀態(tài)估算器估算的狀態(tài)矢量和由射束偏轉(zhuǎn)元件引起的投射光束的偏轉(zhuǎn)及其時(shí)間導(dǎo)數(shù)的目標(biāo)值，

其中，所述調(diào)節(jié)器進(jìn)一步構(gòu)造成通過(guò)使用所述估算的狀態(tài)矢量以及目標(biāo)值計(jì)算施加在射束偏轉(zhuǎn)元件上的控制信號(hào)，

其中，所述系統(tǒng)為微光刻投射曝光設(shè)備的照明系統(tǒng)。

2.按照權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述基于模型的狀態(tài)估算器構(gòu)造成按一定的時(shí)鐘頻率輸出估算的狀態(tài)矢量，該時(shí)鐘頻率高于產(chǎn)生測(cè)量信號(hào)的時(shí)鐘頻率。

3.按照權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述基于模型的狀態(tài)估算器是卡爾曼濾波器。

4.按照權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述調(diào)節(jié)器包括：

a）第一比例元件，構(gòu)造成為饋送至所述調(diào)節(jié)器的調(diào)節(jié)差乘以一個(gè)常數(shù)，

b）第二比例元件，構(gòu)造成為所述調(diào)節(jié)差積分的積分器的輸出信號(hào)乘以一個(gè)常數(shù)，

c）第三比例元件，構(gòu)造成為所示調(diào)節(jié)差的時(shí)間導(dǎo)數(shù)乘以一個(gè)常數(shù)。

5.按照權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其中，所述調(diào)節(jié)器構(gòu)造成通過(guò)將所述第一比例元件的輸出、第二比例元件的輸出及第三比例元件的輸出相加來(lái)計(jì)算所述控制信號(hào)。