[發明專利]多層印刷線路板層間位置偏移的測量方法及測量標尺

有效

• 申請號: 201310268543.7
• 申請日: 2013-06-28
• 公開（公告）號: CN103438813A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 李志全;劉迪科;汪斌;趙杰
• 申請（專利權）人: 東莞美維電路有限公司
• 主分類號: G01B11/14
• 分類號: G01B11/14
• 代理公司: 北京風雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 李翔;李弘

1.一種多層印刷線路板層間位置偏移的測量方法，其包括以下步驟：

（1）制作帶有刻度尺的菲林，其中，刻度尺包括上層刻度尺和下層刻度尺，所述上層刻度尺包括若干平行的上刻度線，相鄰的上刻度線的間距值相同；所述下層刻度尺包括若干平行的下刻度線，相鄰的下刻度線的間距值相同且與所述上層刻度尺的相鄰刻度線的間距值相差一固定精度值，刻度線部分標示刻度值；

（2）圖形轉移，將菲林上的電路圖形轉移到芯板的對應的上下層，同時，菲林上的上層刻度尺和下層刻度尺圖形也對應轉移到芯板的上下層上；

（3）使用十倍鏡或以上倍數放大鏡，從芯板一側觀察上、下刻度尺對正的刻度線；

（4）通過對正的、具有相同的刻度值的刻度線量化判斷上下層橫、豎方向的偏移量。

2.根據權利要求1所述的多層印刷線路板層間位置偏移的測量方法，其特征在于：所述上、下層上的刻度尺的刻度線相差的固定精度值為5微米。

3.根據權利要求1所述的多層印刷線路板層間位置偏移的測量方法，其特征在于：所述刻度尺一共有八個，分布在菲林的四角上，每個角上有二個刻度尺，其中一個刻度尺橫向擺放、另外一個刻度尺豎方向擺放，芯板上下層的菲林對應的上刻度線和下刻度線相互平行且同向擺放。

4.根據權利要求1所述的多層印刷線路板層間位置偏移的測量方法，其特征在于：在步驟（1）中，將CAD設計的芯板上下兩個獨立層圖形和刻度尺通過激光印制在菲林片上。

5.根據權利要求1所述的多層印刷線路板層間位置偏移的測量方法，其特征在于：在步驟（2）中，將印有芯板上下兩個獨立層圖形的菲林片貼在芯板覆銅板的上下層，通過紫外光照射，將菲林片上的圖形印在帶有紫外光感應油墨樹脂的芯板覆銅板上，并通過顯影、蝕刻，完成芯板圖形制作。

6.一種測量標尺，用于測量多層印刷線路板層間位置偏移，其特征在于：所述多層印刷線路板包括至少一張芯板，該測量標尺包括制作在該芯板上層的上層刻度尺和該芯板下層的下層刻度尺，所述上層刻度尺包括若干平行的上刻度線，相鄰的上刻度線的間距值相同；所述下層刻度尺包括若干平行的下刻度線，相鄰的下刻度線的間距值相同且與所述上層刻度尺的相鄰刻度線的間距值相差一固定精度值；所述上層刻度尺及下層刻度尺的中心刻度線標示的刻度值為“0”，其他刻度線部分標示刻度值，每一標示的刻度值的大小與該對應的刻度線與中心刻度線的線數量乘以所述固定精度值；測量時，通過使用十倍鏡或以上倍數放大鏡，從多層印刷線路板一側觀察上層刻度尺和下層刻度尺對正且具有相同的刻度值的刻度線，從而將該相同的刻度值作為芯板上、下層圖形的偏移量。

7.根據權利要求6所述的測量標尺，其特征在于：所述上層刻度尺一共有八個，分布在芯板上層的四角上，每個角上有二個刻度尺，其中一個上層刻度尺橫向擺放、另外一個上層刻度尺豎方向擺放；所述下層刻度尺一共有八個，分布在芯板下層的四角上，每個角上有二個刻度尺，其中一個下層刻度尺橫向擺放、另外一個下層刻度尺豎方向擺放，不同層上的上刻度線和下刻度線相互平行且同向擺放，未發生偏移時，上、下層刻度尺“0”刻度線對正。

8.根據權利要求6所述的測量標尺，其特征在于：所述上層刻度尺的刻度線寬度為150微米，刻度線間距為100微米，所述下層刻度尺：刻度線寬度為150微米，刻度線間距為95微米。

9.根據權利要求6所述的測量標尺，其特征在于：所述上刻度尺和下刻度尺的總長度均為25.15毫米。