[發明專利]基于CCD對位系統的曝光機

在審

• 申請號: 201310263053.8
• 申請日: 2013-06-27
• 公開（公告）號: CN104111586A
• 公開（公告）日: 2014-10-22
• 發明（設計）人: 喻良岳
• 申請（專利權）人: 東莞市瑾耀精密設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 宋華

技術領域

本發明涉及機械裝置，特別涉及一種基于CCD對位系統的曝光機。

背景技術

曝光機在電機科技產品上得到廣泛的應用，例如：右半導晶元制作的應用、PCB電路板的應用、薄膜式的晶片電阻等等。曝光機主要用于將電子線路圖形顯現在產品零件上，從而得到體積小且多層線路的電子零件產品。現有技術的曝光機僅設置一個輸送單位其工作效率偏低，而且現有曝光光源輸出直接照射，造成光束不穩定以及不均勻問題，影響產品的質量。現有的曝光機機大部分采用激光測距或者光電測距對位，上述的測距方式測距存在一定的偏差，產品的質量不能夠保證。

發明內容

本發明的目的在于提供一種新型的基于CCD對位系統的曝光機。

根據本發明的一方面，提供了一種基于CCD對位系統的曝光機，包括機座，機座內設置有散熱部件，在其頂部設有用于安裝工作部件的工作臺,在工作臺上設有外殼保護工作部件；工作部件包括如下：自動供收機構，通過設有的機械手實現自動上料，置料以及出料的功能。貼合機構，貼合機構包括曝光工作臺、用于承載初稿的貼合機板以及設于曝光工作臺上的驅動機構，經由驅動機構驅動下，使得曝光工作臺夾持工作以及在各方向上移動位置的調整以及實現曝光與貼合的功能。CCD自動對位機構，實現工件的精準校準。曝光光源組，曝光光源組設于曝光室內，曝光光源組設有多組光鏡組合實現紫光平行光源輸出。控制裝置，設定、整合自動供收機構、曝光光源組、CCD自動對位機構以及貼合機構的運作,以及監控各部件的工作流程和安全性問題，并反饋相應的指示信號。

特別的，曝光光源組以及曝光室的設定包括如下：

①、曝光室的整體呈“L”型，在曝光室的橫向端下方設有出光口，且橫向端的頂部為斜面，在曝光室的縱向端內部設有燈架以及光鏡組合的安裝結構，且在縱向端的內部還設置有散熱風扇，曝光室通過支架固定于工作臺上。

②、曝光光源組包括點光源短弧燈、冷鏡、橢圓極光器、積光器、反射鏡以及平行反射鏡，點光源短弧燈為汞氙短弧燈，點光源短弧燈的發光源完全置于橢圓極光器內，冷鏡斜設于橢圓極光器的出光口上部，在橢圓極光器一旁設有用于將冷鏡反射的光線均勻化的光學積分器，反射鏡以及平行反射設于曝光室的出光口。

特別的，CCD自動對位機構包括影像機構、UVW平臺，影像機構以及UVW平臺均通過控制裝置控制運行，

①、UVW平臺安裝于貼合機構上，且設有升降伺服馬達以及固定氣缸，經由升降伺服馬達控制UVW平臺的Z軸位移，固定氣缸設于UVW平臺的兩側，UVW平臺還設置有原點光電開關以及極限光電開關，用于升降伺服馬達的原點以及極限位置的檢測。

②、影像機構包括影像基座以及設于影像基座上的兩個成像機構，成像機構包括Y軸移動機構、X軸移動機構、Z軸移動機構以及CCD光學攝像頭所述Y軸移動機構包括固定于影像基座上的第一步進馬達以及與第一步進馬達連接的第一活動座，X軸移動機構包括固定于影像基座上的第二步進馬達以及與第二步進馬達連接的第二活動座，第二活動座設于第一活動座上，Z軸移動機構包第三步進馬達以及與第三步進馬達連接的第三活動座，第三活動座設于第二活動座上，CCD光學攝像頭固定于第三活動座上，CCD光學攝像頭采用上光源組。

特別的，貼合機構，包括曝光工作臺、用于承載初稿的貼合機板以及驅動機構，具體設定如下：

①、曝光工作臺包括固定于機座上的曝光基座，以及設于曝光基座上的置料平臺和光罩固定座：

a、曝光基座包括上基座以及下基座，下基座的設置有第一滑軌，上基座設置于第一滑軌上，下基座還設置有線性馬達座以及線性馬達，上基座通過線性馬達座實現在滑軌上前后移動，上基座表面還設置有第二滑軌以及聯軸槽，線性馬達還設置有原點光電開關以及極限光電開關，用于線性馬達的原點以及極限位置的檢測；

b、所述置料平臺包括平臺機架、置料臺伺服馬達、與置料臺伺服馬達連接的伺服馬達聯軸器、置料臺以及夾持機構：所述平臺機架設置于第二滑軌上，所述伺服馬達聯軸器設于聯軸槽內且與平臺機構連接，所述置料臺伺服馬達安裝于上基座，UVW平臺設于平臺機架上，置料臺上設有上升氣缸、夾持定位機構以及高度檢測裝置，夾持定位機構包括夾持座、夾持定位爪、與夾持定位爪連接的夾持步進馬達，夾持定位爪與夾持步進馬達設于夾持座上，置料臺上還設有調整槽，夾持定位爪穿過調整槽，高度檢測裝置安裝于調整槽一側。

c、光罩固定座固定于第二滑軌上，且位于置料平臺的前方，光罩固定座設有安裝槽。

②、貼合機板安裝于光罩固定座的安裝槽上。