[發(fā)明專利]一種玻璃基板的輸送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310248142.5
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN103350904B
• 公開（公告）日: 2017-03-01
• 發(fā)明（設計）人: 楊衛(wèi)兵;吳俊豪;林昆賢;汪永強;舒志優(yōu);齊明虎;陳增宏;楊國坤;蔣運芍;李晨陽子
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65G51/02
• 分類號: B65G51/02
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所44298
• 代理人: 劉敏

1.一種玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述玻璃基板的輸送裝置包括承載平臺(200)及氣浮系統(tǒng)(300)，所述承載平臺(200)用于支撐疊放玻璃基板的層疊架(400)，所述氣浮系統(tǒng)(300)包括用于使所述層疊架(400)上的待輸送玻璃基板(500)懸浮的氣浮裝置(600)、用于驅動所述待輸送玻璃基板(500)移動的基板驅動裝置(700)。

2.根據(jù)權利要求1所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述氣浮裝置(600)包括氣浮平臺(610)、驅動所述氣浮平臺(610)從所述層疊架(400)的側部進入所述待輸送玻璃基板(500)的下方的氣浮平臺驅動機構(620)。

3.根據(jù)權利要求2所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述氣浮平臺(610)包括左氣浮平臺(612)、右氣浮平臺(614)，所述氣浮平臺驅動機構(620)包括驅動所述左氣浮平臺(612)從所述層疊架(400)的左側部進入所述待輸送玻璃基板(500)的下方的左氣浮平臺驅動機構(622)、驅動所述右氣浮平臺(614)從所述層疊架(400)的右側部進入所述待輸送玻璃基板(500)的下方的右氣浮平臺驅動機構(624)。

4.根據(jù)權利要求3所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述左氣浮平臺(612)和所述右氣浮平臺(614)結構相同；所述左氣浮平臺驅動機構(622)與所述右氣浮平臺驅動機構(624)結構相同。

5.根據(jù)權利要求4所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述左氣浮平臺驅動機構(622)包括沿上下方向(Z)延伸的左支撐架(626)、左移動軌道(628)和驅動所述支撐架沿所述左移動軌道(628)線性移動的左馬達(627)，所述左氣浮平臺(612)設置在所述左支撐架(626)上。

6.根據(jù)權利要求5所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述左氣浮平臺(612)包括沿左右方向(X)平行布置的多個支撐板(630)、將所述多個支撐板(630)連接在一起的支撐梁(632)，所述多個支撐板(630)上均勻設置有多個氣孔(634)。

7.根據(jù)權利要求6所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述多個支撐板(630)中的至少一個支撐板(630)上設置有用于識別所述層疊架(400)上的玻璃基板的信息的核對傳感器(640)。

8.根據(jù)權利要求6所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述基板驅動裝置(700)設置在所述支撐梁(632)上。

9.根據(jù)權利要求8所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述基板驅動裝置(700)包括多個驅動單元(710)，各驅動單元(710)均包括主動輪組(720)、從動輪組(730)、及驅動氣缸(740)，所述驅動氣缸(740)用于驅動所述主動輪組(720)轉動，所述從動輪組(730)用于在將所述待輸送玻璃基板(500)夾持在所述主動輪組(720)與所述從動輪組(730)之間的情況下與所述主動輪組(720)配合輸送所述待輸送玻璃基板(500)。

10.根據(jù)權利要求9所述的玻璃基板的輸送裝置，其特征在于，所述主動輪組(720)位于所述從動輪組(730)的下方。