[發明專利]高純度、高致密度、大尺寸鉬合金靶材的制備方法

有效

• 申請號: 201310247053.9
• 申請日: 2013-06-20
• 公開（公告）號: CN103320756A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 王鐵軍;林同偉;周衛華;劉國輝;熊寧;陳飛雄;劉慧淵
• 申請（專利權）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14
• 代理公司: 北京華誼知識產權代理有限公司 11207
• 代理人: 劉月娥

1.一種高純度、高致密度、大尺寸鉬合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下工藝步驟：

（1）混粉：將Mo粉與作為添加元素的金屬族群Nb、Ta、W、Cr、Ti、Zr、Hf、V、Co粉中的至少一種金屬元素按比例稱量后，用混料機混合均勻，Mo與添加元素的重量比例范圍在99：1~40：60之間；?

（2）壓塊：將混合均勻的粉料通過冷等靜壓或油壓機模壓成塊，壓力50～300MPa；

（3）預燒還原：將壓坯在流動氫氣氣氛燒結爐內進行預燒還原；預燒溫度1200～1300℃，保溫時間2～8h；

（4）真空處理：將預燒還原的坯料在真空爐內進行真空處理，要求真空爐真空度達到1×10^-3Pa，真空處理溫度800～1800℃；?

（5）整型：將真空處理后坯料用銑床進行整形加工，整型成合適的尺寸，要求表面粗糙度不大于Ra?12.5；

（6）熱等靜壓用包套加工：選用不銹鋼、碳鋼或鈦作為包套材料，按圖紙加工成所需形狀尺寸，然后用氬弧焊機或等離子焊機焊接包套體；

（7）包套裝料：將整形加工后預燒坯料逐件裝入熱等靜壓用包套，要求各坯料之間緊密結合，保證在任意一個方向上，各坯料之間的間隙之和不大于1mm，并且任意一側包套內壁跟與之相鄰的坯料之間的間隙不大于1.5mm；

（8）包套脫氣封焊：脫氣溫度400~600℃，真空度達1×10^-2Pa后，用氬弧焊機或等離子焊機將包套封焊；

（9）熱等靜壓處理：將脫氣封焊后包套放入熱等靜壓爐內進行熱等靜壓處理，處理溫度700~1500℃，壓力100~200MPa，保溫保壓時間2~6h；

（10）加工成品：將熱等靜壓坯料去除包套后，用線切割、銑加工、磨加工加工方式加工成符合用戶要求的成品。

2.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）中壓力為100~200MPa。

3.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟（4）中真空處理溫度1500~1800℃。

4.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所制備的鉬合金靶材平面尺寸能達到1300mm×850mm。

5.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所制備的鉬合金靶材抗彎強度達800MPa以上，致密度達99.0%以上，純度達99.9%以上。?