[發(fā)明專利]硅片打磨工藝及其設(shè)備

在審

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• 申請日: 2013-06-19
• 公開（公告）號: CN104227523A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳巧;孫立平;徐志群;金浩;陳康平
• 申請（專利權(quán)）人: 晶科能源有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 魏曉波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及多晶硅加工技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅片打磨設(shè)備。本發(fā)明還涉及一種應(yīng)用該硅片打磨設(shè)備的硅片打磨工藝。

背景技術(shù)

在一般的多晶硅加工生產(chǎn)過程中，通常會對已降級的硅片進行打磨處理，以使其達(dá)到一定的產(chǎn)品規(guī)格，從而降低因殘品淘汰而導(dǎo)致的成本損失，而隨著生產(chǎn)需求的不斷提高，人們對硅片打磨工藝也提出了更高的要求。

目前現(xiàn)有的硅片打磨工藝實施過程中，通常是由工作人員利用碳化硅等輔料對待處理的硅片進行手工打磨，雖然該種現(xiàn)有的硅片打磨處理方式能夠滿足基本的生產(chǎn)加工需要，但由于其加工效率較低，且工人勞動強度較大，給相關(guān)的生產(chǎn)工序的順利實施造成了諸多不利影響。

因此，如何提高硅片打磨的加工效率，并降低工人勞動強度是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的重要技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種硅片打磨設(shè)備，該硅片打磨設(shè)備能夠有效提高硅片打磨效率，并使工人勞動強度相應(yīng)降低。本發(fā)明的另一目的是提供一種應(yīng)用上述硅片打磨設(shè)備的硅片打磨工藝。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種硅片打磨設(shè)備，包括磨床，所述磨床的操作臺上設(shè)置有基準(zhǔn)塊，所述基準(zhǔn)塊與物料間的配合面與所述磨床的操作臺的作業(yè)面相垂直，所述基準(zhǔn)塊的后部設(shè)置有可驅(qū)動所述基準(zhǔn)塊沿其與物料間的配合面的垂直方向移動的調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置，且所述調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置與所述磨床相固定。

優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置為氣缸。

本發(fā)明還提供一種硅片打磨工藝，包括步驟：

物料固定，利用集成于磨床上的調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置將待處理的硅片與集成于磨床操作臺上的基準(zhǔn)塊間夾緊固定；

起磨定位，根據(jù)磨床的磨頭部分的損耗程度，設(shè)定硅片打磨的起始坐標(biāo)位置；

打磨調(diào)整，根據(jù)硅片損傷層的范圍和厚度，相應(yīng)地調(diào)整每次打磨時的磨頭進刀距離并實施打磨，直至將硅片打磨至符合相應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)格。

相對上述背景技術(shù)，本發(fā)明所提供的硅片打磨設(shè)備，包括磨床，所述磨床的操作臺上設(shè)置有基準(zhǔn)塊，所述基準(zhǔn)塊與物料間的配合面與所述磨床的操作臺的作業(yè)面相垂直，所述基準(zhǔn)塊的后部設(shè)置有可驅(qū)動所述基準(zhǔn)塊沿其與物料間的配合面的垂直方向移動的調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置，且所述調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置與所述磨床相固定。工作過程中，通過在磨床操作臺上集成的基準(zhǔn)塊和調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置，將待處理的硅片固定于所述磨床操作臺的適當(dāng)位置處，并根據(jù)其損傷程度的不同以及磨床磨頭的損耗程度利用所述調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置調(diào)整待處理硅片與所述基準(zhǔn)塊間的夾緊固定位置，之后利用所述磨床對待處理的硅片進行精磨，直至其符合相應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)格。所述硅片打磨設(shè)備的硅片打磨效率較高，并有效降低了工作人員的勞動強度。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明一種具體實施方式所提供的硅片打磨設(shè)備的裝配結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖2為本發(fā)明一種具體實施方式所提供的硅片打磨工藝的流程圖。

具體實施方式

本發(fā)明的核心是提供一種硅片打磨設(shè)備，該硅片打磨設(shè)備能夠有效提高硅片打磨效率，并使工人勞動強度相應(yīng)降低；同時，提供一種應(yīng)用上述硅片打磨設(shè)備的硅片打磨工藝。

為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本發(fā)明作進一步的詳細(xì)說明。

請參考圖1，圖1為本發(fā)明一種具體實施方式所提供的硅片打磨設(shè)備的裝配結(jié)構(gòu)俯視圖。

在具體實施方式中，本發(fā)明所提供的硅片打磨設(shè)備，包括磨床，所述磨床的操作臺11上設(shè)置有基準(zhǔn)塊12，基準(zhǔn)塊12與物料間的配合面121與磨床的操作臺11的作業(yè)面相垂直，基準(zhǔn)塊12的后部設(shè)置有可驅(qū)動基準(zhǔn)塊12沿其與物料間的配合面121的垂直方向移動的調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置13，且調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置13與所述磨床相固定。工作過程中，通過在磨床操作臺11上集成的基準(zhǔn)塊12和調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置13，將待處理的硅片固定于磨床操作臺11的適當(dāng)位置處，并根據(jù)其損傷程度的不同以及磨床磨頭的損耗程度利用調(diào)節(jié)驅(qū)動裝置13調(diào)整待處理硅片與基準(zhǔn)塊12間的夾緊固定位置，之后利用所述磨床對待處理的硅片進行精磨，直至其符合相應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)格。所述硅片打磨設(shè)備的硅片打磨效率較高，并有效降低了工作人員的勞動強度。