[發明專利]一種有機薄膜功能層的制備裝置及其方法在審
| 申請號: | 201310242644.7 | 申請日: | 2013-06-17 |
| 公開(公告)號: | CN104241533A | 公開(公告)日: | 2014-12-24 |
| 發明(設計)人: | 胡子陽;諸躍進 | 申請(專利權)人: | 寧波大學 |
| 主分類號: | H01L51/48 | 分類號: | H01L51/48 |
| 代理公司: | 寧波誠源專利事務所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠衛 |
| 地址: | 315211 浙*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 有機 薄膜 功能 制備 裝置 及其 方法 | ||
1.一種有機薄膜功能層的制備裝置,其特征在于:包括一溶液池(1)以及位于溶液池(1)正上方的工作滾筒(3),所述工作滾筒(3)的上方一側具有一源滾筒(4),工作滾筒(3)上方具有一輔助滾筒(5),輔助滾筒(5)的一側設有一回收滾筒(7),所述多個滾筒均通過支架(8)固定,需要加工的柔性導電襯底(9)依次從源滾筒(4)開始繞至工作滾筒(3),然后繞過輔助滾筒(5)連接至回收滾筒(7),并且在輔助滾筒(5)和回收滾筒(7)之間設有一加熱控制設備(6)。
2.如權利要求1所述的有機薄膜功能層的制備裝置,其特征在于:所述工作滾筒(3)和回收滾筒(7)上分別安裝有動力裝置。
3.如權利要求1或2所述的有機薄膜功能層的制備裝置,其特征在于:所述工作滾筒(3)和回收滾筒(7)的旋轉速度一致。
4.如權利要求1所述的有機薄膜功能層的制備裝置,其特征在于:所述回收滾筒(7)和輔助滾筒(5)同高度設置。
5.一種應用上述權利要求1-4任一項所述的裝置的有機薄膜功能層的制備方法,其特征在于:包括以下步驟
步驟一:將配置好的功能層溶液(2)盛放在溶液池(1)中;
步驟二:將有機薄膜功能層的柔性導電襯底(9)一端從源滾筒(4)中拉出,并纏繞二分之一的工作滾筒(3)表面,然后向上纏繞經過輔助滾筒(5),再水平拉出經過加熱控制設備(6)的表面,最后纏繞在回收滾筒(7)上固定;
步驟三:調節工作滾筒(3)與液面的高度,直至工作滾筒(3)浸入液面深度h,1/3R<h<R,R為工作滾筒(3)的半徑;
步驟四:同時啟動工作滾筒(3)和回收滾筒(7),并使旋轉速度一致,同時打開加熱控制設備(6);
浸入到溶液(2)的柔性導電襯底(9)在工作滾筒(3)的帶動下豎直向上運動,溶劑蒸發,到達輔助滾筒(7)使溶液固化成膜,經過加熱控制設備(6)進一步蒸發掉殘余的溶劑,并對薄膜進行退火,最后經過退火處理的柔性導電襯底(9)被回收滾筒(7)纏繞收回。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





