[發明專利]一種依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法

無效

• 申請號: 201310240566.7
• 申請日: 2013-06-17
• 公開（公告）號: CN103424461A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 郝臣;白毅;張鵬飛;王曉紅;趙玉濤;周鵬;惲悅;周瑞
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: G01N27/42
• 分類號: G01N27/42
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

1.一種依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法，按照下述步驟進行：

（1）清洗基片：取準備好的導電玻璃，將每20片1cm×4cm×1.5mm的導電玻璃置于100ml蒸餾水和2g去污粉配備的洗滌液中，浸泡1h，然后依次用丙酮、無水乙醇、去離子水超聲清洗，晾干備用；

（2）配制濃度為0.01-0.1?mol·L^-1電解液100mL，每片導電玻璃量取電解液5mL，采用三電極體系進行電化學沉積，以導電玻璃為工作電極，鉑電極為輔助電極，飽和甘汞電極為參比電極，在一定的電位(如0.6V～1.0V、-0.9V~-1.7V、-1.1V~-1.5V、-2.0V～-1.1V)，室溫下沉積300-600s；

（3）沉積結束后得到沉積膜的i-t曲線，并根據電流變化情況進行分析。

2.根據權利1所述的依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法，其特征在于所用的導電玻璃為ITO或TCO導電玻璃。

3.根據權利1所述的依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法，其特征在于采用的電化學沉積方法為陰極恒電位法。

4.根據權利1所述的依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法，其特征在于根據沉積曲線形狀、走勢判斷沉積膜的好壞。

5.根據權利1所述的依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法，其特征在于所用的電解液為硝酸鋅溶液、苯胺溶液、吡咯溶液或硫酸氧鈦-苯胺復合溶液。

6.根據權利1所述的依賴電沉積曲線評價沉積膜質量的方法，其特征在于沉積電位為-1.1V、-1.2V、0.7V或-1.5V。