[發明專利]感測器件及相關操作方法

有效

• 申請號: 201310235087.6
• 申請日: 2013-06-14
• 公開（公告）號: CN103512586B
• 公開（公告）日: 2017-10-31
• 發明（設計）人: 凱文·R·富蓋特;愛德華·W·卡斯滕斯;佩奇·M·霍爾姆;迪安·W·米勒
• 申請（專利權）人: 超大規模集成電路技術有限責任公司
• 主分類號: G01D3/028
• 分類號: G01D3/028
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 邵亞麗

技術領域

在此描述的主題的實施例通常涉及感測器件和應用，并且更確切地說，主題的實施例涉及補償關于溫度的感測布置的性能變化。

背景技術

傳感器被用在各種各樣的應用中。例如，電子器件可以包括在一個半導體管芯上制作并且生成指示施加在半導體管芯上或以其它方式臨近半導體管芯的感測到的屬性的幅度的電信號的傳感器。然而，在實踐中，溫度波動可以影響傳感器的組件的電氣特性，并從而不良地影響了感測到的性能的測量。因此，通常在最終測試校準感測器件對溫度波動的敏感性。然而，當感測器件被焊接或以其它方式安裝到電子襯底或其它外部電路的時候，傳感器的組件的電氣特性也可能受到引入的應力的影響，從而降低了在最終測試執行的校準的有效性。

發明內容

根據本發明的示例實施例配置的系統、裝置以及方法涉及：

提供了一種感測器件的實施例。所述感測器件包括第一感測布置，所述第一感測布置在第一襯底上以感測第一屬性；加熱布置；以及控制系統，所述控制系統耦合到所述第一感測布置和所述加熱布置，以激活所述加熱布置加熱所述第一襯底，以及在從所述第一感測布置獲得所述第一屬性的一個或多個測量值時停用所述加熱布置。在一個實施例中，所述感測器件進一步包括溫度感測布置，其中所述控制系統耦合到所述溫度感測布置，以在獲得所述第一屬性的所述一個或多個測量值的同時，從所述溫度感測布置獲得一個或多個測量的溫度值。在另一個實施例中，所述感測器件包括存儲元件以保持所述第一感測布置的修正代碼，其中所述控制系統耦合到所述存儲元件，以基于所述修正代碼和所述一個或多個測量的溫度值來確定溫度補償值，以及基于所述溫度補償值和所述第一屬性的所述一個或多個測量值來輸出所述第一屬性的溫度補償后的測量值。在另一個實施例中，所述感測器件進一步包括第二襯底，在所述第二襯底上部署有所述加熱布置。在一個實施例中，所述控制系統被部署在所述第二襯底上。在另一個實施例中，所述第一襯底和所述第二襯底被封裝在單個器件封裝件中。在又一個實施例中，溫度感測布置被提供在所述第二襯底上，其中所述控制系統耦合到所述溫度感測布置，以從所述溫度感測布置獲得與所述第一屬性的所述一個或多個測量值相對應的一個或多個測量的溫度值。在又一個實施例中，所述第一襯底和所述第二襯底被堆疊。根據另一個實施例，所述第一感測布置包括磁感測布置，所述磁感測布置被配置成感測周圍磁場。