[發明專利]一種鉬及其合金的連續鍍硅工藝

有效

• 申請號: 201310226315.3
• 申請日: 2013-06-07
• 公開（公告）號: CN103320735A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 張穎異;李運剛;趙杰;師學峰
• 申請（專利權）人: 鋼鐵研究總院
• 主分類號: C23C2/04
• 分類號: C23C2/04
• 代理公司: 北京華誼知識產權代理有限公司 11207
• 代理人: 劉月娥

1.一種鉬及其合金的連續鍍硅工藝，其特征在于：處理對象是鉬及其合金；工藝步驟如下：

（1）鉬及其合金材料的開卷、夾送、矯直：將鉬及其合金材料用開卷機開卷、經夾送后進行矯直，使其表面規則、平整；

（2）焊接、清洗：焊接采用CO₂氣體保護焊接機焊接；?

（3）預熱；將鉬及其合金材料在氬氣保護感應預熱爐內預熱到250℃～350℃；?

（4）硅液制備：采用大型真空感應將純度為7N的多晶硅加熱到1450～1500℃，加熱爐氣氛為氬氣保護氣氛；

（5）連續鍍硅-氣刀處理：將鉬及其合金在氬氣保護氣氛中送入硅槽，進行硅層涂鍍處理，涂鍍溫度在1450～1500℃，并通過氣刀來控制鉬及其合金材料表面的鍍層重量，氣刀采用鍍層重量自動閉環控制及人工微調控制；

（6）退火合金化：將鉬及其合金鍍件送入真空可控氣氛退火爐內進行，退火溫度為1000～1400℃，退火時間為1～3小時，退火氣氛為氬氣保護氣氛；?

（7）鍍件冷卻：將涂鍍后的鍍件進行氬氣噴射冷卻和水淬冷卻；首先用氬氣噴射冷卻將鍍件冷卻至150～250℃，然后在進入水淬槽進行冷卻至50℃～80℃；

（8）光整、矯直：光整矯直是將鍍件出冷卻塔后用光整機進行光整，并于拉矯機進行矯直，以保證鍍件的光整平直；

（9）烘干卷取：采用電加熱方式烘干鍍件，烘干溫度控制在60～120℃，待烘干后檢測表明質量并用芯軸套管懸臂式卷取機卷取。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述的鉬及其合金包括純鉬材料、鉬鈮合金材料、鎢鉬合金材料、鉻鉬合金材料、鎳鉬合金材料、硅鉬合金材料。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟（2）中的清洗是將材料表面的軋制油和雜質清除，清洗設備為臥室電解清洗，清洗設備包括堿噴洗槽、電解清洗槽、堿刷洗、熱水漂洗槽和感應爐烘干；清洗液為濃度為2～3%，溫度約50℃～70℃的苛性鈉。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，步驟（3）中感應預熱爐預熱段爐殼采用6mm厚碳鋼爐殼，耐火材料采用150mm厚陶瓷纖維，內襯采用2mm304不銹鋼內襯，爐底為200mm陶瓷纖維。