[發(fā)明專利]采樣量測方法和系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310222154.0
• 申請日: 2013-06-05
• 公開（公告）號: CN104217970A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙晨;譚小兵;張京晶;羅志林
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種采樣量測方法和系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體集成電路的制造過程中，晶圓（Wafer）按照預(yù)先設(shè)定好的工藝流程依次執(zhí)行每一道工序。工藝流程中的工序包括很多種類，例如，制造工序和量測工序。其中，量測工序的目的是同時通過量測和分析晶圓的量測數(shù)據(jù)，檢驗生產(chǎn)制造過程的晶圓是否符合要求，及監(jiān)控晶圓生產(chǎn)過程是否出現(xiàn)異常。

量測工序是半導(dǎo)體集成電路制造過程中必須的，但耗時且昂貴的工序，它是保證集成電路性能、質(zhì)量的關(guān)鍵手段之一。在半導(dǎo)體制造過程中，隨著產(chǎn)能的不斷擴大，量測機臺的使用率也隨之增加，但是量測機臺的數(shù)目是有限的，晶圓代工廠（FAB）的人力成本也是寶貴的，合理分配量測機臺的產(chǎn)能并制定派貨規(guī)則對晶圓代工廠的生產(chǎn)周期（Cycle?time）和成本控制至關(guān)重要。現(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)大量生產(chǎn)時，量測機臺會遇到嚴重的堆貨問題，在可信的風(fēng)險范圍內(nèi)，并不是每一批次產(chǎn)品（lot）都需要量測，所以通常都采用采樣量測（Sampling）的做法。

圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)采樣量測的流程示意圖，包括：

步驟S101，按照產(chǎn)品屬性將若干批次產(chǎn)品組成采樣組；

步驟S102，對采樣組中的某一批次產(chǎn)品或者部分批次產(chǎn)品進行量測；

步驟S103，判斷該批次產(chǎn)品的量測結(jié)果是否合格，當(dāng)判斷結(jié)果為是時，執(zhí)行步驟S104，當(dāng)判斷結(jié)果為否時，執(zhí)行步驟S105；

步驟S104，該批次產(chǎn)品所屬的采樣組量測合格，通過量測；

步驟S105，該批次產(chǎn)品所屬的抽樣組不合格，繼續(xù)對組內(nèi)其他批次產(chǎn)品進行量測。

采樣量測的具體實現(xiàn)算法有很多，有的依據(jù)產(chǎn)品的號碼的特征尾數(shù)采樣去量測，有的依據(jù)時間段采樣去量測，有的依據(jù)產(chǎn)品通過的片數(shù)采樣去量測，還有的通過產(chǎn)品制程中的特征工序采樣去量測。上述的采樣量測方法中，將若干具有相似屬性的批次產(chǎn)品作為一組，只挑選其中某一批次產(chǎn)品或者部分批次產(chǎn)品去做量測，量測的結(jié)果代表了該采樣組產(chǎn)品的品質(zhì)，未被采樣量測的產(chǎn)品可以利用該結(jié)果作為質(zhì)量的判斷依據(jù)而無需親自下量測機臺去量測，這樣可以大大節(jié)省時間和量測機臺的負載。

但是，現(xiàn)有技術(shù)的采樣量測方法中存在大量的無效量測，浪費了量測機臺資源。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)的采樣量測方法中存在大量的無效量測，浪費了量測機臺資源。

為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種采樣量測方法，包括：提供若干待量測批次產(chǎn)品和若干已量測批次產(chǎn)品；根據(jù)所述待量測批次產(chǎn)品和所述已量測批次產(chǎn)品的工藝流程信息、到達量測站點時間信息和晶圓數(shù)量信息劃分采樣組；根據(jù)采樣組內(nèi)已量測產(chǎn)品的量測結(jié)果設(shè)置采樣組的信息標(biāo)簽，所述信息標(biāo)簽包括合格、不合格和無量測結(jié)果；根據(jù)所述信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達量測站點最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達量測站點最早的待量測批次產(chǎn)品進行排序量測。

可選的，所述根據(jù)信息標(biāo)簽，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達量測站點最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達量測站點最早的待量測批次產(chǎn)品進行排序量測包括：根據(jù)各采樣組的信息標(biāo)簽為各采樣組內(nèi)的所有待量測批次產(chǎn)品設(shè)置序列調(diào)整參數(shù)，將信息標(biāo)簽為不合格的采樣組中到達量測站點最早的待量測批次產(chǎn)品、和信息標(biāo)簽為無量測結(jié)果的采樣組中到達量測站點最早的待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)，將其他待量測批次產(chǎn)品設(shè)置為低優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)；根據(jù)所述序列調(diào)整參數(shù)對各待量測批次產(chǎn)品進行排序；對高優(yōu)先級序列調(diào)整參數(shù)的待量測批次產(chǎn)品進行量測。