[發明專利]一種室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法無效
| 申請號： | 201310218295.5 | 申請日： | 2013-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN103308560A | 公開（公告）日： | 2013-09-18 |
| 發明（設計）人： | 李冬梅;詹爽;梁圣法;陳鑫;謝常青;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 任巖 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 室溫 檢測 nh sub 氣體 傳感器 制作方法 | ||
1.一種室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，包括：
在柔性襯底表面制作金屬電極；
制作α-Fe2O3-ZnO敏感膜；以及
將α-Fe2O3-ZnO敏感膜與柔性襯底具有金屬電極的表面結合，形成在室溫檢測NH3的氣體傳感器。
2.根據權利要求1所述的室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，所述在柔性襯底表面制作金屬電極，包括：
清洗柔性襯底，在該柔性襯底表面涂敷光刻膠，并對該光刻膠進行光刻，刻掉柔性襯底表面用于形成金屬電極處的光刻膠，在柔性襯底表面形成電極圖形；接著采用電子束蒸發在具有電極圖形的柔性襯底上依次沉積Cr膜和Au膜；最后剝離光刻膠及光刻膠上的Cr膜和Au膜，形成表面具有金屬電極的柔性襯底。
3.根據權利要求2所述的室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，所述柔性襯底包括PI、PET或PEN。
4.根據權利要求2所述的室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，所述在柔性襯底表面涂敷的光刻膠為正膠，包括9920或3220。
5.根據權利要求1所述的室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，所述制作α-Fe2O3-ZnO敏感膜，包括：
混合工序：將FeSO4·7H2O、CO(NH2)2溶于水，在轉速為10-180轉/分鐘的磁力攪拌下，將上述溶液攪拌3分鐘至4小時，得到混合溶液；
反應工序：將得到的混合溶液在0℃至180℃下回流0.5小時至36小時，然后將沉淀物離心、洗滌及干燥，得到α-Fe2O3的前驅體；
煅燒工藝：將得到的α-Fe2O3的前驅體在300℃至1000℃煅燒0.5小時至4小時，并自然冷卻到室溫；
摻雜工藝：將煅燒后的α-Fe2O3在0℃至100℃分散在一定體積的甲醇溶液中，接著逐滴加入一定體積的摩爾濃度為0-1M的KOH的甲醇溶液，攪拌，制備不同摩爾比摻雜的α-Fe2O3-ZnO溶液；
煅燒工藝：將不同摩爾比摻雜的α-Fe2O3-ZnO溶液通過旋涂、滴涂、浸涂或絲網印刷方式涂覆在SiO2基片上，干燥蒸發掉涂層中的溶劑，在200℃至1000℃煅燒0.5小時至4小時，自然冷卻到室溫后，得到覆蓋于SiO2基片上的α-Fe2O3-ZnO敏感膜；
刻蝕工藝：利用HF酸刻蝕掉α-Fe2O3-ZnO敏感膜下層的SiO2基片，將α-Fe2O3-ZnO敏感膜與SiO2基片分離，得到α-Fe2O3-ZnO敏感膜。
6.根據權利要求5所述的室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，所述混合工序中是將10mmol?FeSO4·7H2O和25mmol?CO(NH2)2溶于100ml水中，在室溫下攪拌10分鐘，得到混合液。
7.根據權利要求5所述的室溫檢測NH3的氣體傳感器的制作方法，其特征在于，所述反應工序中是在溫度為80℃回流6小時，離心，洗滌并干燥，得到α-Fe2O3的前驅體。
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