[發明專利]一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法

有效

• 申請號: 201310217528.X
• 申請日: 2013-06-04
• 公開（公告）號: CN104018115A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 孫新民
• 申請（專利權）人: 黃山明明德軸承有限公司
• 主分類號: C23C8/38
• 分類號: C23C8/38;C23C8/80
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟一：將待處理的滾動軸承套圈放入純度為99%的乙醇溶液中進行一次以上超聲清洗，每次清洗時為為15min～20min；

步驟二：將超聲清洗處理后的滾動軸承套圈放入真空室工作臺，真空室內的真空度保持在1×10^-2～2×10^-2Pa；

步驟三：在真空室脈沖陰極弧源處安裝Mo陰極，將工作臺轉至脈沖陰極弧源前方，釋放脈沖偏壓，脈沖寬度為40～80μs,脈沖頻率為100～400Hz，釋放電壓40～60kv,釋放時間為40～80?min；

步驟四：將高純度N₂?通入真空室主體，注入劑量為4×10¹⁷icons/cm²～5×10¹⁷icons/cm²之間，N₂氣壓3×10^-2～5×10^-2Pa，釋放脈沖偏壓，脈沖寬度為40～80μs,脈沖頻率為100～400Hz，釋放電壓40～60kv,釋放時間為40～80?min；

步驟五：真空室恢復常壓、冷卻。

2.根據權利要求1所述的一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征是所述的步驟一中的超聲清洗時間為16?min。

3.根據權利要求1所述的一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征是所述步驟一中的超聲清洗次數為三次。

4.根據權利要求1所述的一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征是所述的步驟三中，脈沖寬度為50～60μs,脈沖頻率為200～300Hz，釋放電壓50～60kv,釋放時間為50～80?min。

5.據權利要求4所述的一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征是所述的步驟三中，脈沖寬度為55μs,脈沖頻率為220Hz，釋放電壓52kv,釋放時間為60?min。

6.根據權利要求1所述的一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征是所述的步驟四中，N₂氣壓為4×10^-2Pa。

7.根據權利要求1所述的一種滾動軸承套圈滾道離子注入與沉淀復合處理方法，其特征是所述的步驟四中脈沖寬度為50,脈沖頻率為200Hz，釋放電壓45kv,釋放時間為50?min。