[發明專利]點陣結構的聲表面波諧振器

有效

• 申請號: 201310210349.3
• 申請日: 2013-05-31
• 公開（公告）號: CN103296994B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 李強
• 申請（專利權）人: 中科微聲（天津）傳感技術有限公司
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25;H03H9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.點陣結構的聲表面波諧振器，包括壓電基片，所述壓電基片上濺射金屬叉指換能器和金屬柵陣，其特征在于，所述金屬叉指換能器兩側設置金屬柵陣，所述金屬柵陣包括設置在所述金屬叉指換能器左右兩側的開路柵，將左側的開路柵稱作第一開路柵，將右側的開路柵稱作第二開路柵，所述第一開路柵和第二開路柵在所述金屬叉指換能器左右兩側對稱分布；所述第一開路柵和第二開路柵構成的金屬柵陣在y方向上平行設置、在x方向上垂直設置并且在x方向上周期性分布；

在所述金屬叉指換能器上設置聲子晶體，所述聲子晶體在x方向上周期性分布，所述聲子晶體在y方向上隨機分布。

2.根據權利要求1所述的點陣結構的聲表面波諧振器，其特征在于，所述的壓電基片是128°YX鈮酸鋰材料。

3.根據權利要求2所述的點陣結構的聲表面波諧振器，其特征在于，所述金屬叉指換能器的厚度為2000埃；所述金屬叉指換能器的金屬指條周期λ為9.86微米，共219根指條，孔徑大小為32λ。

4.根據權利要求3所述的點陣結構的聲表面波諧振器，其特征在于，所述金屬柵陣中的第一開路柵和第二開路柵的金屬指條周期λ為9.9微米，所述第一開路柵和第二開路柵都包含184根指條。

5.根據權利要求4所述的點陣結構的聲表面波諧振器，其特征在于，所述聲子晶體是材料為鋁的金屬點陣，所述金屬叉指換能器的每個叉指上設置一個鋁的晶格，x方向晶格的周期同金屬叉指換能器的金屬指條周期相同。

6.根據權利要求5所述的點陣結構的聲表面波諧振器，其特征在于，y方向上和x方向上的晶格常數比b/a為1.86。

7.根據權利要求3所述的點陣結構的聲表面波諧振器，其特征在于，所述金屬叉指換能器的材料為金或鋁。