[發明專利]一種數字式瑞利干涉儀

有效

• 申請號: 201310193937.0
• 申請日: 2013-05-23
• 公開（公告）號: CN103293130A
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 武少文
• 申請（專利權）人: 山西大學
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45
• 代理公司: 山西五維專利事務所(有限公司) 14105
• 代理人: 楊耀田

1.一種數字式瑞利干涉儀，包括第一透鏡（3）、第二透鏡（9）、第一補償器（7）、第二補償器（8），其特征在于，還包括激光光源（11）、光柵（12）、濾波器（13）、擴束鏡（16）、光敏探頭（24）和顯示裝置（25）；所述的第一透鏡（3）和第二透鏡（9）均為柱透鏡；激光光源（11）發出的光經光柵（12）、濾波器（13）分成兩束光，并經透鏡（3）變成兩束平行光，其中一束光經第一補償器（7），另一束光經第二補償器（8），然后兩束平行光再經透鏡（9）匯聚成一個光點，光點經擴束鏡（16）擴束，擴束后的光場出現干涉條紋，光敏探頭（24）放置在能正確讀出干涉條紋數的位置，光敏探頭（24）連接顯示裝置（25）。

2.一種數字式瑞利干涉儀，包括第二透鏡（9）、第一補償器（7）、第二補償器（8），其特征在于，還包括激光光源（11）、分束器（17）、第一反射鏡（18）、第二反射鏡（19）、直角棱鏡（20）、擴束鏡（16）、光敏探頭（24）和顯示裝置（25）；所述的第二透鏡（9）為柱透鏡；激光光源（11）發出的光經分束器（17）分成兩束光，兩束光分別經第一反射鏡（18）和第二反射鏡（19）后，再經直角棱鏡（20）變成兩束平行光，其中一束光經第一補償器（7），另一束光經第二補償器（8），然后兩束平行光再經透鏡（9）匯聚成一個光點，光點經擴束鏡（16）擴束，擴束后的光場出現干涉條紋，光敏探頭（24）放置在能正確讀出干涉條紋數的位置，光敏探頭（24）連接顯示裝置（25）。

3.如權利要求1或2所述的一種數字式瑞利干涉儀，其特征在于，所述的激光光源（11）是小型半導體激光器。

4.如權利要求1或2所述的一種數字式瑞利干涉儀，其特征在于，所述的光敏探頭（24）是光敏電阻、光敏二極管或光敏三極管。

5.如權利要求1或2所述的一種數字式瑞利干涉儀，其特征在于，所述的顯示裝置（25）是由單片機與顯示器構成，或者是計算機。